판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 #293819912

ID: 293819912
Robot P/N: 003-1500-02 No arm No cable Used for ion beam deposition systems.
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 웨이퍼 핸들러는 높은 처리량 칩 작동을 위해 설계된 완전 자동 웨이퍼 전송 및 처리 장비입니다. 이 시스템은 정확한 실행 및 정밀 작동을 보장하면서 반도체 웨이퍼 (wafer) 를 전송하고 처리하는 워크플로를 단순화합니다. 이 장치는 Magnatran 7 transfer arm, motorized table 및 motorized vision의 3 가지 통합 하위 시스템으로 구성됩니다. BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 transfer arm은 독점 인코더 기술을 사용하여 초고속 정확도로 3 차원 환경에서 정확한 위치 및 궤적을 추적하는 단일 축, 3 차원 조작기 암입니다. 그것 은 최대 직경 8 "인치 '의 정확 하고 정확 한 제어 로 반도체" 웨이퍼' 를 옮길 수 있다. 동력 테이블은 높은 가속도와 정확한 위치 제어를 가능하게하는 고 토크 DC 서보 모터 (high-torque DC servo motor) 에 의해 구동됩니다. 최대 밀도로 최대 185 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 확장 가능한 작업 표면이 있습니다. 전동식 비전 (Motorized Vision) 은 고급 2 축 비전 머신으로, 전체 이동 범위에서 고속 이미지 및 데이터 포인트를 캡처하는 등 웨이퍼 추적을 개선합니다. Magnatran 7 웨이퍼 핸들러는 고성능, 안정성, 정밀한 반도체 웨이퍼 처리 및 전송 기능을 최대한의 다용도로 제공합니다. 확장 및 사용자 친화적 (Scalable and User-Friendly) 으로 설계되었으며, 독점 설계는 모든 프로세스 환경에서 모든 Wafer 유형에 적합합니다. 모듈식 부품은 반도체 업계의 갈수록 늘어나는 요구에 부응할 수 있는 손쉬운 유지 관리 및 업그레이드 기능을 제공합니다 (영문). BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Transfer Arm의 정교한 비전 툴과 정밀 반복성은 표준 품목이 원하는 성능 요구 사항을 충족할 수 없는 프로세스 영역에 적합합니다. 전반적으로 Magnatran 7 웨이퍼 핸들러는 반도체 웨이퍼 처리에 효과적이고 효율적이며 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 견고한 설계 (design) 와 독점 기술 (Proprietary Technology) 은 안정적이고 정확한 작동을 보장하며, 확장성과 모듈식 구성요소를 통해 자산의 처리 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
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