판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 #293819882

BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Wafer Handler는 최첨단 로봇 핸들러로, 최고 처리량으로 칩 수준의 웨이퍼 자동화 및 테스트를 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 최대 300mm의 유연하고 정확한 웨이퍼 처리는 7 축 로봇 팔에 의해 활성화됩니다. "로봇 '은 최고 수준 의 정확도 와 제어 를 위해 설계 되었으며, 따라서" 와퍼' 를 정확 하게 배치 하고 정확 하게 전달 할 수 있다. 그 결과 "웨이퍼 '오염 이 최소화 되고, 부당 한 취급 으로 인한" 웨이퍼' 가 줄어들게 된다. 또한 Magnatran 7은 탁월한 처리량과 유연성을 제공합니다. 박막 증착 (Thin-Film Deposition) 및 웨이퍼 통합 (Wafer Integration) 프로세스에 대한 고급 프로세스 제어를 통해 대량의 동시 운영을 처리하여 시장 출시 시기를 크게 단축할 수 있습니다. 이 로봇에는 프로세스 매개변수를 동적으로 조정하여 사용자 정의 기준에 따라 최적의 웨이퍼 전송 결과 (wafer transfer result) 를 달성하는 기본 (bist-in) 최적화 모듈이 장착되어 있습니다. 이러한 적응적 접근 방식은 성능을 일관되게 향상시켜 주며, 개별 장애가 신속하게 해결되도록 합니다. 또한 BROOKS AUTOMATION Magnatran 7은 웨이퍼 중심 정렬 정확도를 특징으로하며 여러 웨이퍼 두께에서 최대 0.2um 의 반복 속도를 제공합니다. 또한, 마그나 트란 7 (Magnatran 7) 은 로봇 암과 환경을 모두 보호하기 위해 안전성 기능을 제공합니다. E-Stop Suite 에는 수동 긴급 중지 스위치 시스템 (Emergency Stop Switch System) 과 Wafer 처리 프로세스의 모니터링 영역에서 설정할 수 있는 Emergency Stop 버튼이 포함되어 있습니다. "엔드 오브 암 '(end-of-arm) 연동 주변 장치 웨이퍼 처리 시스템도 포함되어 있어 로봇이 주변을 침범하지 않고 방관자에게 해를 끼칩니다. 또한, 로봇은 노출 된 패스너와 하드 스톱 (hard stop) 없이 설계되어 가능한 손가락 또는 공구 포획을 최소화합니다. 마지막으로 BROOKS AUTOMATION Magnatran 7은 설치와 유지 관리가 쉽습니다. 모든 컴포넌트는 견고성 (rugged) 판금 주택에 포장되어 견고한 진동 방지 러너에 장착됩니다. 내장형 HMI는 인체공학적 성능, 시스템 변경 사항을 모니터링하는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 비롯하여 간단하고 직관적인 제어 기능을 제공합니다. 모듈식 (modular) 설계와 문제 해결이 필요한 경우 구성 요소를 쉽게 제거할 수 있습니다. Magnatran 7 Wafer Handler는 최고의 처리량 성능 및 안전을 위해 설계된 고급 로봇 핸들러입니다. 7 축 암은 최대 300mm 웨이퍼 처리를 허용하며, 높은 정밀 작동을 위해 초미세 0.2um 반복 성을 제공합니다. 또한 "로봇 '은 설치 및 유지 보수가 용이하여 모든" 칩' 수준의 웨이퍼 '자동화 및 테스트 요구에 이상적입니다.