판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 #293800004

BROOKS AUTOMATION Magnatran 7은 표준 직경, 얇은 제작 웨이퍼, 실리콘 온 인슐레이터 (SOI) 기판 및 기타 광학적으로 얇은 기판을 전송, 교환, 이동 및 검사하도록 설계된 완전 자동화 된 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 웨이퍼 핸들러는 효율적이고 안전한 기판 처리를 위해 몇 가지 주요 기능을 제공합니다. Magnatran 7은 수직으로 장착 된 웨이퍼 로더를 사용하여 최대 25 개의 웨이퍼를 동시에 로드 및 언로드할 수 있습니다. 이 시스템에는 작은 증분 단계 동작 (small incremental step motions) 과 가변 회전 속도 (variable rotational speed) 를 포함하여 광범위한 동작을 제공하는 정밀 공기 베어링 유형 스테이지가 장착되어 있습니다. 스테이지 (stage) 는 웨이퍼를 비스듬히 놓을 때에도 일정한 웨이퍼-스테이지 간격을 유지하는 부드러운 동작을 보장합니다. BROOKS AUTOMATION Magnatran 7은 또한 위치 감지 기능을 제공하므로, 스테이지와 엘리베이터는 웨이퍼의 위치를 감지 할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 에는 장애물과 접촉하면 즉시 전원 공급 장치를 차단하는 압력에 민감한 안전 스위치 (Pressure-Sensitive Safety Switch) 와 같은 고급 안전 기능이 통합되어 있습니다. 또한 장치가 작동하지 않을 때 전원 공급 장치를 차단하는 안전 연결 장치 (Safety Interlock Unit) 가 있습니다. 또한 Magnatran 7은 다른 인근 장비와의 간섭을 줄이기 위해 낮은 EMI (Electro Magnetic Interference) 작동 모드로 설계되었습니다. BROOKS AUTOMATATION Magnatran 7의 다른 기능에는 웨이퍼-웨이퍼 정렬 (wafer-to-wafer alignment) 이 포함되어 있어 웨이퍼 모서리의 일관된 방향과 빠른 설정을 위한 자동 정렬이 보장됩니다. 컴퓨터 인터페이스 (computer interface) 는 웨이퍼 처리 (wafer-handling) 작업을 완벽하게 제어하고 운영자가 설정이나 프로그램을 쉽게 수정할 수 있도록 해줍니다. Magnatran 7은 표준 50 마일 두께의 실리콘 온 인슐레이터 기판 및 기타 광학적으로 얇은 기판을 포함하여 광범위한 웨이퍼 치수를 처리 할 수 있습니다. 광범위한 반도체 처리 애플리케이션의 경우 견고한 구성/이동 기능을 통해 안정성, 안전성, 정확성을 보장합니다.