판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 003-1600-32 #9016584

BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 003-1600-32 (M7) 는 300mm 반도체 웨이퍼를 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 처리 장비 (wafer handling equipment) 는 다양한 반도체 장치 제조 공정을 위해 처리 스테이션 사이에 웨이퍼를 정확하고 빠르게 운송하도록 설계되었습니다. M7은 페이로드 용량이 32 웨이퍼 인 4 축 웨이퍼 핸들러입니다. 온도 조절 환경 내에서 매우 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 (wafer) 전송이 가능하며, 고속 전송 속도와 정확성이 필요한 생산 및/또는 연구 시설에 이상적입니다. 또한 오류 로깅이 포함된 온보드 문제 해결 시스템 (Onboard Troubleshooting System) 이 포함되어 있어 문제를 신속하게 식별하고 해결할 수 있습니다. M7에는 인체 공학적 디자인과 다양한 안전 기능이 있습니다. 리트 랙트, 접근 방식, 픽/플레이스, 언로드 및 예금의 5 가지 안전 구역이 있습니다. 이렇게 하면 향상된 안전 프로파일 (Safety Profile) 을 제공하면서 사용자나 시스템에 대한 간섭을 감지하고 피할 수 있습니다. Windows 기반 PC 제어 시스템을 통해 제공되는 사용자 정의 동작 시퀀스 (user-defined motion sequence) 는 가장 빠르고 안정적인 주기 (cycle time) 에 적합한 정밀도와 처리량을 보장합니다. M7 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 로드 포인트 센서가 장착되어 있어 처리 중인 웨이퍼 (wafer) 유형에 따라 수평로드 센서 깊이를 최적으로 조정할 수 있습니다. 또한 180 ° 및 ± 90 ° 웨이퍼 회전에 대한 그리드 패턴 인식 (grid pattern recognition) 을 통해 전체 프로세스 전체에서 최고 정도의 정확성과 반복 성을 보장합니다. 모든 M7 웨이퍼 핸들러는 ISO 10648 레벨 2를 준수하며 RTCA/DO-160 클래스 1 및 2에 대해 인증되었습니다. 또한 가장 엄격한 검증을 위한 FDA 요구 사항도 충족합니다. 또한 컴퓨터 제어 (computer-controlled) 작업을 통해 특정 고객 요구 사항에 맞게 프로세스 매개변수를 구성하고 조정할 수 있습니다. M7 (M7) 은 웨이퍼를 한 스테이션에서 다른 스테이션으로 빠르고 정확하게 운송하도록 설계된 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 로, 반도체 장치 제조에 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 정확하고 고급 모션 제어 (Motion Control) 및 자동 안전 (Automated Safety) 기능을 통해 고속 및 고정밀 자동 프로세스에 적합합니다.