판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Lot of (4) Robots #293621707
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브룩스 자동화 182320 (BROOKS AUTOMATION 182320) 은 제조, 환경뿐만 아니라 연구 및 개발 분야에서 다양한 웨이퍼 처리 작업에 이상적인 전송 플랫폼입니다. 모듈식 (modular) 으로 설계되었는데, 이는 유연성을 통해 사용자별 요구 사항을 충족할 수 있음을 의미합니다. 182320 년의 다재다능성은 상상할 수있는 거의 모든 작업에 맞춤 될 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION 182320은 고급 감지 기술과 소프트웨어로 제작되어 정확하고 안정적인 제어를 제공합니다. 최대 5 도의 이동성을 제공하며 사전 프로그래밍 된 사다리 단계에서 초당 최대 9.8 인치까지 이동합니다. 이것은 다양한 프로세스에서 웨이퍼를 처리 및 전송하는 데 적합합니다. 182320 년에는 3, 4 또는 6 인치 직경에 최대 12 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 Grid-Loc ™ 웨이퍼 홀더가 있습니다. 개별 격자 단면은 2 또는 4 인치의 치수를 혼합하여 구성할 수 있습니다. "웨이퍼 '홀더 의 각 팔 을 독립적으로 제어 할 수 있으므로, 정밀 한 배치 를 위하여 최대 90 도 까지 기울일 수 있다. BROOKS AUTOMATION 182320에는 통합 3 축 오픈 아키텍처 모션 컨트롤러와 로터리 인코더도 있습니다. 이를 통해 최대 5개의 동작 축을 사용할 수 있으며, 한 머신에서 다른 머신으로 웨이퍼 전송 (wafer transfer), 또는 마스크 정렬 중 패턴 증착과 같은 복잡한 작업에 이상적입니다. 또한 각 작업의 가속, 속도, 위치를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한, 182320 년에는 여러 커넥터가 패널에 위치해 있으므로 다양한 목적으로 기계를 쉽게 구성할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION 182320은 높은 정확성과 신뢰성을 보장하도록 설계되었습니다. 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 와 감지 기술 (Sensing Technology) 을 통해 정확한 로봇 이동을 할 수 있으며, 견고한 플랫폼은 기계가 적절한 위치에 머물고 원활하게 이동하도록 도와줍니다. 이는 다양한 처리 및 연구 환경에서 지속적인 웨이퍼 (wafer) 생산 및 처리에 이상적입니다.
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