판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Votan G08 #9171939

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Votan G08은 최대 8 인치 직경의 웨이퍼 처리 및 처리를위한 자동 웨이퍼 핸들러입니다. JENOPTIK Votan G08은 높은 처리량과 안정적인 웨이퍼 처리 기능을 제공합니다. 혁신적인 기계적 설계를 통해 처리량 및 프로세스 제어가 향상되었습니다 (영문). BROOKS AUTOMATION Votan G08은 부드럽고 안전한 웨이퍼 처리를 위해 설계되었습니다. 로봇 암은 최대 230mm/sec의 속도로 이동하면서 최대 1kg 의 하중을 올릴 수 있습니다. 동작 경로는 6 개의 스테퍼 모터 배열과 0.002mm 이내의 볼 스크류 장비 (ball screw equips) 로 정의됩니다. 또한, 시스템에는 정확한 반복성을 보장하기 위해 광 위치 피드백 (optical position feedback) 장치가 장착되어 있습니다. Votan G08은 단일 웨이퍼와 웨이퍼 카세트를 동시에 처리 할 수 있습니다. 기계에는 안정적이고 정확한 웨이퍼 배치 및 처리를 위해 웨이퍼 스테이지 안정성 머신 (wafer stage stability machine) 이 장착되어 있습니다. 웨이퍼 스테이지는 일본 유리 거울이있는 아크릴/알루미늄 합금 구조로 구성되어 광학 전송 및 흡수를 보장합니다. BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Votan G08은 또한 독특한 접착 기반 웨이퍼 처리 기술을 사용하여 도구를 통해 웨이퍼를 안전하게 보류 할 수 있습니다. JENOPTIK Votan G08은 여러 환경 센서를 사용하여 웨이퍼 처리 및 처리를 위해 통제 된 환경을 보장합니다. 환경 모니터링 자산에는 CO2 센서, 습도 센서 및 최적의 작동 조건을 보장하는 온도 센서가 포함됩니다. BROOKS AUTOMATION Votan G08에는 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 가 장착되어 있습니다. 직관적인 GUI (Graphical Interface Control) 를 통해 사용자는 모델의 작동을 쉽게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 또한, wafer 환경 및 process 매개변수를 조작할 수있는 process control 모듈이 특징입니다. Votan G08은 정확하고, 빠르고, 안전한 웨이퍼 처리, 처리 및 관리가 필요한 어플리케이션에 적합합니다. 고급 설계는 웨이퍼를 처리 및 처리할 때 최고 수준의 성능, 안정성, 안전성을 보장합니다. 도량형, 검사, 웨이퍼 베이킹 등 다양한 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.