판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Vision #9411479

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Vision은 웨이퍼 제조 시설 내부에서 반도체 웨이퍼를 처리하도록 설계된 강력한 산업 등급 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 프로세싱 모듈 (processing module) 과 스테이지 (stage) 간 웨이퍼 전송을 위해 완벽한 웨이퍼 처리 시스템을 제공하기 위해 통합된 다양한 로봇 서브시스템으로 구성됩니다. JENOPTIK Vision 로봇 조작기는 다양한 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 (Wafer) 제작 시설 내에서 운송을 위해 웨이퍼를 파악하고 정위 할 수있는 4 축 로봇 암이 장착되어 있습니다. 로봇은 바닥에 BROOKS AUTOMATION VISION 기반 탐색 및 탐색 마커를 장착하여 정확한 웨이퍼 배치를 보장합니다. 웨이퍼의 위치는 웨이퍼의 상대적 위치를 감지하고 제어할 수있는 진공 이송 (vacuum feed-through) 챔버를 사용하여 모니터링됩니다. 로봇 암은 정확하고 빠른 동작 제어를 제공하는 고정밀 서보 모터에 의해 구동됩니다. "로봇 '에는 또한" 시스템' 내 의 사고 를 탐지 하고 중지 시킬 수 있는 통합 안전 장치 가 있다. 비전 (Vision) 에는 스핀 드라이어 (spin dryer) 와 웨이퍼 청소를위한 고압 세척기가 장착 된 통합 웨이퍼 클린 및 프리 클리닝 스테이션이 있습니다. 로봇에는 미션 플래너 (mission planner) 도 장착되어 있으며, 여러 웨이퍼 처리 프로그램을 동시에 실행할 수 있습니다. 또한, BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Vision 로봇은 웨이퍼를 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 온보드 센서 및 카메라의 도움으로 장애물을 감지, 정지, 모니터링 할 수 있습니다. 내장된 소프트웨어 기능으로 여러 로봇 간의 작업, 프로그램, 조정을 제어할 수 있으며 위치, 속도, 프로그램 순서 등을 자동으로 관리할 수 있습니다. JENOPTIK Vision은 또한 다른 처리 장비와 연결하기위한 통신 및 데이터 인터페이스를 제공합니다. 유연성, 고속, WAFR (Wafer Fabrication Facility) 을 위한 신뢰성 있고 통합된 자동화 솔루션을 제공하는 효율적이고 정확한 WAFER (Wafer Handler) 입니다.