판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Vision #9411478

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Vision은 반자동 및 완전 자동화 프로세스를 위해 설계된 고급 웨이퍼 처리 로봇입니다. 중앙 카세트에서 로봇 배달 트럭, 레이저, 배치 로더, 에처 및 기타 기계 (반도체 생산 라인) 로 다양한 웨이퍼 크기를 옮길 수 있습니다. 이 "로봇 '은 대단 히 정확 한 움직임 을 제공 하고, 최소 의 오버헤드 로" 웨이퍼' 를 안정적 으로 공급 하도록 설계 되었다. JENOPTIK Vision은 고급 BROOKS AUTOMATION Vision 시스템을 사용하여 웨이퍼 위치 및 크기를 식별하고 추적 한 반면, 로봇 암은 +/- 2.3 미크론의 반복 정확성과 0.12 미크론의 정확도로 웨이퍼를 선택, 제공 및 배치합니다. 2 축 턴테이블에는 4000 RPM이 있으며 기울기 범위는 플러스 또는 마이너스 30도입니다. 팔의 대각선 이동은 DC 모터 (DC motor) 에 의해 구동되며, 넓은 거리에서 빠르고 정밀한 이동이 가능합니다. 또한, 로봇 암은 34kg (kg) 을 운반 할 수 있으며, 이는 높은 와퍼 처리량을 처리 할 수 있도록 보장합니다. 또한 비전 (Vision) 에는 웨이퍼 처리가 안전하게 수행되도록 설계된 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 여기에는 가드가 열릴 때 로봇을 비활성화하는 안전 등급 EPS 인증 인터 록 (interlock) 과 모터에 대한 토크 센서 및 과부하 보호 (overload protection) 가 포함됩니다. 또한, 로봇은 운영 라인의 다른 요소와 통신하기 위해 표준 RS-232 연결 (Standard RS-232 Connection) 으로 설계되어 자동화된 생산 라인에 쉽게 통합 될 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Vision은 추가 소프트웨어 없이도 고객의 프로그래밍 가능한 논리 컨트롤러에 직접 통합되도록 프로그래밍 할 수 있습니다. JENOPTIK Vision (JENOPTIK Vision) 은 생산 프로세스를 간소화하기 위해 웨이퍼 처리 및 전송을위한 강력하고 정확하고 정확한 도구입니다. 브룩스 자동화 비전 (BROOKS AUTOMATION VISION) 시스템, 로봇 암, 토크 센서, 과부하 보호 및 안전 시스템, 안정적이고 안전한 웨이퍼 전달 및 부드럽고 효율적인 작동을 포함한 다양한 기능.