판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Vision #9411359

ID: 9411359
System M/N: 173222-14.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Vision은 반도체 제조 방식을 개선하기 위해 설계된 차세대 웨이퍼 핸들러입니다. 향상된 처리량, 최적화된 품질 관리 및 즉석 프로세스 모니터링 기능을 통해 고성능 반도체 (FMA) 제작과 관련된 타이밍, 정확성, 생산성 문제를 해결합니다. JENOPTIK Vision 웨이퍼 핸들러 (JENOPTIK Vision wafer handler) 는 필요한 많은 챔버와 공정을 갖춘 청소실을 통해 테이퍼 웨이퍼 카세트를 횡단하는 로봇 암입니다. 팔에는 각 웨이퍼 카세트를 정확하고 빠르게 픽업하고 배치하도록 특별히 맞춤형 엔드 이펙터 (그리퍼) 가 있습니다. 이 핸들러는 특허를 받은 부하 잠금 역학 (load-lock mechanics) 을 활용하여 다양한 프로세스 (cassette in/out) 에 카세트를 배치하고 전송하는 방식으로 처리량과 유연성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장비는 직관적이고, 사용자 친화적이며, 빠른 명령 및 제어 시스템을 사용하여 엔지니어가 실시간으로 신속하고 안전하게 프로세스 매개 변수를 조정할 수 있습니다. 이 자동화 장치는 최신 업계 표준 프로세스와 구성요소 (component) 와 호환되며, 통합이 용이하고 최신 솔루션을 제공합니다. 브룩스 오토메이션 비전 웨이퍼 핸들러 (BROOKS AUTOMATION VISION wafer handler) 는 RFID 기반 충돌 방지 머신 (collision avoidance machine) 을 포함한 안전 기능과 잠재적 장애물과 충돌하기 전에 멈춰 자동으로 조정 할 수있는 충격 흡수 구조로 완성됩니다. 또한 자동화된 유지 보수 (maintenance) 기능을 통해 다운타임을 줄일 수 있습니다. 필요한 경우 원격으로 모니터링, 조정, 수리 작업을 수행할 수 있습니다. 전반적으로 Vision은 반도체 제조를 위한 정교한 자동 솔루션을 제공합니다. 최적화된 처리량, 유연한 운영 및 최첨단 자동화 자산 (Flexible Operation and 최첨단 자동화 자산) 을 통해 Wafer Handler는 대용량 생산에 대한 당면 과제를 해결하기 위해 안정적이고 비용 효율적인 방법을 찾는 제조 시설에 이상적인 선택이 됩니다. 또한 견고한 설계로 운영 및 품질 관리 (Quality Control) 를 일관되게 유지할 수 있습니다.
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