판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Vision #293624682

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Vision은 반도체 산업의 로봇 자동화에 사용되는 웨이퍼 핸들러입니다. 완전하게 자동화된 웨이퍼 (wafer) 처리 솔루션으로, 웨이퍼 제조 프로세스를 수동으로 처리하지 않도록 설계되었습니다. Wafer 처리를 위한 안전하고, 효율적이며, 비용 효율적인 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. JENOPTIK Vision 웨이퍼 핸들러는 높은 처리량과 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. 여러 개의 센서와 브룩스 자동화 비전 (BROOKS AUTOMATION Vision) 장비가 장착되어 있어 웨이퍼의 결함을 감지하고 측정 할 수 있습니다. 또한 비전 (Vision) 시스템은 웨이퍼의 방향을 인식하고 웨이퍼 처리 방향을 자동으로 조정할 수 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼 핸들러가 웨이퍼 유형을 빠르게 전환하고 주기 시간을 줄일 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 여러 가지 메커니즘을 사용하여 다른 유형의 웨이퍼를 처리합니다. 예를 들어, 벨트 피더 (belt-feeder) 장치를 사용하여 로더에서 증착 단계로 순차적으로 웨이퍼를 공급합니다. 또한, 단계 간 웨이퍼를 안전하게 전송하는 데 사용되는 진공 기반 척 (chuck) 과 정적 방지 접촉 패드 (anti-static contact pad) 가 특징입니다. 이것은 웨이퍼의 오염과 탈구를 방지합니다. 웨이퍼 핸들러에는 사진 리소그래피 (photo lithography), 에칭 (etching) 과 같은 중요한 단계에 정확하고 반복 성을 제공하는 마이크로 포지셔너 머신도 장착되어 있습니다. 마이크로포지티오너 (micropositioner) 는 또한 동일한 웨이퍼에 여러 다이 (die) 를 정렬하는 데 사용되며, 이는 중요한 과정에서 정확성을 보장한다. 이러한 메커니즘 외에도 BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Vision 웨이퍼 핸들러에는 빠르고 간단한 프로그래밍이 가능한 사용자 친화적 인 Linux 운영 도구가 제공됩니다. 따라서 기술자가 신속하게 프로그램을 설치, 조정하여 처리량을 극대화하고 비용을 절감할 수 있습니다. 마지막으로 웨이퍼 핸들러는 여러 안전 프로토콜로 설계되었습니다. 비상용 정지 (Emergency Stop) 에셋이 장착되어 있으며, 운영 모델은 안전하지 않은 입력을 방지하도록 설계되었습니다. 또한, 모든 모듈을 원격으로 액세스/모니터링할 수 있으므로, 장비의 최대 유연성과 제어가 가능합니다. 전반적으로 JENOPTIK Vision 웨이퍼 핸들러는 반도체 업계의 로봇 자동화를 위한 효율적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. 정확하게 제어 된 메커니즘, 영리한 BROOKS AUTOMATION VISION 시스템, 사용자 친화적 인 Linux 운영 장치 및 안전 프로토콜을 결합하여 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼 (wafer) 제작 프로세스에 안정적이고 효율적인 도구를 제공합니다.