판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK SLR 200 #9129244

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK SLR 200 Wafer Handler는 반도체 제조 응용 프로그램에서 웨이퍼의 로드 및 언로드를 위해 설계된 자동 로봇 장비입니다. 이 시스템은 멸균 환경에서 정확한 웨이퍼 처리를 제공합니다. JENOPTIK SLR 200에는 정전기 충전으로 인한 웨이퍼 손상을 방지하는 ESD (Electrostatic Discharge) 보호 장치가 장착되어 있습니다. 효율적인 액추에이터 (actuator) 를 사용하면 수동 로드 및 언로드보다 2 ~ 3배 빠른 속도로 웨이퍼를 이동시킬 수 있습니다. 이 기계는 1820 mm/s의 최고 속도에 도달 할 수 있으며 크기가 100äm ~ 200mm 인 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 빠른 프로그래밍을 지원하는 매핑 도구 (Mapping Tool), 분당 최대 50 개의 웨이퍼 처리 기능 (Wafer Per Minute) 등 다양한 기능을 제공합니다. 이 도구는 모든 웨이퍼 유형 (Wafer Type) 과 크기 (Size) 를 단일 주기로 식별할 수 있는 통합 비전 (Integrated Vision) 자산으로 생산성을 높이도록 설계되었습니다. 이 모델은 또한 0.2mm (0.2mm) 의 반복 가능성으로 높은 수준의 웨이퍼 배치 정확성을 제공합니다. BROOKS AUTOMATION SLR 200은 처리량 향상을 위해 다른 로더/언로더 및 진공 로봇과 함께 사용할 수도 있습니다. 또한, 이 장비는 긴급 정지 (Emergency Stop) 버튼 및 적외선 센서를 포함한 다양한 안전 기능을 제공합니다. 이렇게 하면 웨이퍼가 안전하고 안전한 방식으로 처리됩니다. 이 시스템에는 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 포함되어 있어 작업 및 프로그래밍이 용이합니다. 전반적으로 SLR 200 웨이퍼 핸들러 (SLR 200 Wafer Handler) 는 반도체 제조 응용 프로그램의 웨이퍼 로드 및 언로드를위한 효율적이고 안정적인 플랫폼입니다. 광범위한 웨이퍼 크기, 정확한 배치 속도, 빠른 속도 (fast speed) 를 지원하는 이 장치는 생산성 및 자동화 향상에 이상적입니다.