판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK SLR 200 #9097054

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK SLR 200은 박막 프로세스 자동화에 사용되는 웨이퍼 핸들러입니다. 반도체 산업의 엄격한 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었으며, 소형 디자인 (compact design), 신뢰할 수 있는 처리 (beliable handling), 낮은 교차 오염 (low cross-contamination) 등의 기능을 갖추고 있습니다. JENOPTIK SLR 200은 웨이퍼를 고정하는 프레임과 2 개의 서보 제어 손으로 구성됩니다. wafer loading/unloading (웨이퍼 로드/언로드) 과 관련된 다운타임을 줄여 오류의 가능성을 줄일 수 있도록 설계되었습니다. BROOKS AUTOMATION SLR 200은 최대 16 인치 직경 및 최대 4.5mm 두께의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 손 은 "웨이퍼 '의 가장자리 를 움직 일 수 있으며, 수송 중 에" 웨이퍼' 가 적절 히 방향 을 정하고 굳게 잡는다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 AC 모터로 구동되며 고급 모니터링 시스템을 통합하여 웨이퍼 처리 (Wafer Handling) 프로세스가 가능한 한 효율적으로 수행되도록 합니다. 이 시스템에는 잘못된 처리로 인해 웨이퍼가 손상되지 않도록 보호하는 안전 기능 (Safety Features) 도 포함되어 있습니다. SLR 200 은 안정성이 높고 작동이 용이하며, 몇 가지 핵심 스트로크를 통해 연산자가 처리 작업을 프로그래밍할 수 있습니다. 그것 은 표면 의 결함 을 신속 히 탐지 하고 "웨이퍼 '의 표면 에서 정확 한 접점 을 찾아낼 수 있다. 또한 이 소프트웨어는 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하여 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK SLR 200에는 웨이퍼 핸들러를 정확하게 제어하기 위해 자동 초점 (auto-focus) 및 패턴 인식 (pattern recognition) 과 같은 고급 기능이 있습니다. 또한 통합 레이저 절삭 장비와 전기 시스템 테스트 구성 요소가 포함되어 있습니다. JENOPTIK SLR 200은 강력하고 안정적이며 안정적인 웨이퍼 처리 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 하드 마스킹, 캡슐화, 박막 증착, 확산, 기타 관련 프로세스 등 다양한 박막 프로세스를 수용하도록 구성할 수 있습니다. 결론적으로, BROOKS AUTOMATION SLR 200은 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 비용 효율적이고 강력한 웨이퍼 핸들러입니다. 안정적이고 사용하기 쉽고, 고급 (advanced) 기능을 통해 다양한 크기와 모양의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다.