판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Fixload 25 #9159888

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Fixload 25는 반도체 웨이퍼 및 카세트의 효율적인 로드 및 언로드를 위해 설계된 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 "시스템 '은 직경 200" 밀리미터' 의 "웨이퍼 '를 처리 할 수 있으며, 다양 한" 카세트' 크기 를 수용 할 수 있다. 이 장치는 3 축 서보 구동 로봇, 로봇 베이스, 제어 컴퓨터, 운영 체제 및 로드/언로드 스테이션으로 구성됩니다. 로봇에는 2 개의 선형 모션 스테이지와 1 개의 회전 모션 스테이지가 장착되어 있어 정확한 웨이퍼 (wafer) 및 카세트 로딩 및 언로드가 가능합니다. 이러한 모션 단계는 빠른 주기와 안정적인 성능을 제공합니다. 이 도구에는 적외선 검출기와 밝은 LED 광원도 있습니다. 이렇게 하면 카세트 로드 및 언로드 시 웨이퍼 위치를 정확하게 식별할 수 있습니다. 또한 수동 개입 없이 올바른 방향 으로 "카세트 '를 적재 한다. 효율적이고 정확한 로딩 및 언로드를 위해 JENOPTIK Fixload 25는 쿠션 코너, 자동 웨이퍼 레벨 센서 및 카세트 레벨 센서를 포함한 여러 안전 기능을 사용합니다. 이렇게 하면 웨이퍼가 로드/언로드 스테이션에 안전하게 들어가고, 카세트가 제대로 로드되고 언로드됩니다. 자산은 또한 고급 소프트웨어 제품군 (advanced software suite) 을 갖추고 있으며, 이 소프트웨어는 모델 성능을 모니터링하고 자동화 작업을 조정하는 데 사용됩니다. 이 소프트웨어에는 자동화 프로세스 중 모든 오류에 대한 장비 보호를 위한 통합 안전 기능 (Integrated Safety Function) 도 포함되어 있습니다. BROOKS AUTOMATION Fixload 25는 효율적이고 정확한 웨이퍼 처리 시스템입니다. 로봇과 모션 스테이지는 빠른 주기 (cycle time) 와 안정적인 성능을 제공하는 반면, 안전 기능은 안전한 로드 및 언로드를 보장합니다. 통합 소프트웨어 및 안전 기능은 또한 장치 보호를 강화합니다.