판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Fixload 25 #293645362

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Fixload 25 웨이퍼 핸들러는 마이크로 일렉트로닉스의 웨이퍼 전송 및 전송에 이상적인 다용도 솔루션입니다. 이 자동 웨이퍼 로더 (automated wafer loader) 는 거의 모든 유형의 웨이퍼를 처리하고 처리 단계 간에 안정적으로 전송할 수 있습니다. 유연한 설계로 인라인 또는 독립형 작동에 이상적입니다. 이 장치의 디자인에는 선형 액추에이터, 틸테이블 웨이퍼 카세트, 픽앤 플레이스 작업, 웨이퍼 인코더, 영역 배열 트랜스듀서 등 5 가지 주요 구성 요소가 포함됩니다. 선형 액츄에이터는 카세트에서 웨이퍼 인코더로 웨이퍼를 들어 올리고 밀는 역할을 수행합니다. 틸테이블 웨이퍼 카세트는 거의 모든 웨이퍼 (wafer) 크기와 무게를 수용할 수 있도록 설계되었으며, 웨이퍼의 지속적인 로드 및 언로드에 사용할 수 있습니다. 픽앤 플레이스 (pick-and-place) 작업을 통해 모든 각도에서 웨이퍼를 정확하게 이동하고 배치할 수 있습니다. 이는 직접, 닫힌 루프 제어 및 인라인 측정을 사용하여 정확한 반복성, 정확성 및 속도를 허용합니다. 웨이퍼 인코더는 웨이퍼 횡단 평면을 식별하도록 설계되었습니다. 이 정교 한 "시스템 '은" 웨이퍼' 를 원하는 각도 와 깊이 에 쉽게 배치 할 수 있다. Area Array Transducer는 0.5micrometer의 정확도로 최대 10.5micrometer의 선형 및 옵션 해상도를 사용합니다. 웨이퍼 인코더와 함께 사용하면 반복 가능하고, 정확하며, 정확한 웨이퍼 전송이 가능합니다. 아날로그 제어 (analog control), 디지털 장치 모니터링 (digital device monitor) 등 다양한 제어 및 통신 인터페이스를 통해 유연성과 성능을 최적화할 수 있습니다. 전반적으로 JENOPTIK Fixload 25는 신뢰할 수 있고 정확하며 다양한 웨이퍼 핸들러입니다. 유연한 디자인과 결합된 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 은 인라인 (In-Line) 프로세스와 독립형 (Standalone) 프로세스 모두에 대해 정확한 반복 가능한 성능을 제공합니다. 또한, 신뢰성 있는 성능과 낮은 유지 관리 요구 사항을 통해 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 애플리케이션을 선호합니다.