판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed X-rok30M/R #9035752

JENOPTIK Ergospeed X-rok30M/R 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼 로드, 언로드 및 정렬 프로세스를 자동화하기 위해 설계된 고정밀 웨이퍼 전송 및 처리 시스템입니다. 따라서 웨이퍼 로드 (wafer loading) 및 언로드 (unload) 작업의 정확성을 향상시키는 동시에 운영 비용을 절감할 수 있습니다. Ergospeed X-rok30M/R에는 수직 X축과 수평 Y축이있는 6 축 로봇 암이 장착되어 있습니다. 로봇 암은 최소 0.1mm 포지셔닝 정확도로 최대 8 인치까지 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 또한 제품 로드 및 언로드 작업을 최적화하는 고속 계량 암을 갖추고 있습니다. Ergospeed X-rok30M/R은 다양한 운영 시나리오에 대한 다양한 운영 모드도 제공합니다. '구멍 공급 (Hole supply)' 모드로, 로봇 암은 매거진 프레임에서 웨이퍼를 자동으로 찾아 검색하여 수동 개입을 없앨 수 있습니다. 마찬가지로, '카운트 공급 (counted supply)' 모드를 사용하면 로봇 암에서 각 로딩 주기 후에 매거진에 남은 웨이퍼 양을 연산자에게 알릴 수 있으므로 정확성이 보장됩니다. 또한 Ergospeed X-rok30M/R은 로딩, 언로드 및 정렬 작업 중에 웨이퍼가 손상되거나 오염되지 않도록 하는 다양한 안전 메커니즘을 갖추고 있습니다. 여기에는 "로봇 암 '이" 매거진 프레임' 중심에서 너무 멀지 않게 움직이지 않도록 하는 "디디플렉션 시스템 '과 정확하고 부드러운 웨이퍼 처리를 위한 이중 속도 및 압력 제어 (pressure control) 가 포함됩니다. 전반적으로 BROOKS AUTOMATION Ergospeed X-rok30M/R 웨이퍼 핸들러는 효율적이고 안정적인 웨이퍼 로딩, 언로드 및 정렬 작업을 지원하는 고급 시스템입니다. 6 축 로봇 암 (robot arm) 과 다양한 작동 모드는 효율적이고 정확한 웨이퍼 처리를 보장하는 반면, 다양한 안전 메커니즘은 작동 중에 웨이퍼가 손상되지 않도록 합니다. 이를 통해 Ergospeed X-rok30M/R은 고정밀 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.