판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed LPTSL/R #9032625

JENOPTIK Ergospeed LPTSL/R 웨이퍼 핸들러는 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 프로세싱에서 정밀 제어를 위한 최적의 웨이퍼 처리 장비입니다. 모듈식 설계, 사용자 친화적 소프트웨어 및 고급 RCS (Robotics Control System) 를 결합하여 자동 웨이퍼 프로세싱의 처리량과 신뢰성을 높입니다. 이 장치는 강력한 RCS (Power RCS) 를 사용하여 웨이퍼 처리 로봇의 동작, 속도, 가속도를 정확하게 제어합니다. 이렇게 하면, 신속하고 정확한 이동을 통해 웨이퍼가 프로세스 성능에 최소한의 영향을 주어 정확하게 배치할 수 있습니다. Ergospeed LPTSL/R은 선형 모터, 드라이브 샤프트 및 웨이퍼 핸들러의 선형 속도 및 가속을 제어하는 2 개의 기어 모터로 구성됩니다. 선형 모터 (Linear Motor) 는 기어 모터 및 구동 샤프트와 통합되어 웨이퍼 (Wafer) 에 정확한 배치에 필요한 정확한 동작을 제공합니다. 이러한 요소 조합은 강력하고, 신뢰할 수 있는 결과를 낳으며, 웨이퍼 (wafer) 를 정밀하게 손실하지 않고 정확하게 처리합니다. Ergospeed LPTSL/R은 유연성을 극대화하는 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. 따라서 사용자는 응용 프로그램에 맞게 시스템을 사용자 정의하여 성능을 극대화할 수 있습니다 (영문). 모듈식 (modular) 방식을 사용하면 운영 프로세스 및 시스템의 다른 부분과 쉽게 통합할 수 있습니다. 해당 사용자 친화적 인 소프트웨어는 필요한 사양에 맞게 Ergospeed LPTSL/R 프로그래밍 프로세스를 단순화하도록 설계되었습니다. 여기에는 다음과 같은 요소가 포함됩니다. 속도 및 가속화 매개변수 (Multiple stage movements Speed and acceleration parameters) 다른 로봇 생산 라인 컴포넌트와의 통합 작업 자동화 (Automation of operation) 이렇게 하면 wafer handler를 프로세스의 정확한 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION Ergospeed LPTSL/R 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼 처리 작업의 속도와 정확성을 극대화하기 위해 설계된 고급 도구입니다. 모듈식 디자인, 강력한 Robotics Control Asset 및 사용자 친화적 인 소프트웨어를 결합하여 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 업계에서 고성능 자동화를 제공합니다. 그 결과 자동화된 웨이퍼 (wafer) 처리 솔루션이 제공되며, 성능은 안정적이고 정확합니다.