판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed LPTSL/L #9032626

JENOPTIK Ergospeed LPTSL/L 웨이퍼 핸들러는 반도체 산업의 자동 처리 프로세스를 위해 설계된 고정밀 단일 모터 드라이브 장비입니다. 매끄럽고 진동이 적은 드라이브 시스템과 고속 모션 (motion) 기능을 제공하여 안정적인 웨이퍼 처리를 보장합니다. 웨이퍼 핸들러는 리순환 볼 베어링 선형 가이드 웨이 (linear guideway) 와 DC 서보 모터 (DC servo motor) 를 사용하여 뛰어난 속도와 토크를 제공하는 단일 모터 드라이브 장치를 사용합니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '손잡이 는 더 가볍고 무거운 무게 로" 웨이퍼' 를 처리 하는 데 적합 한 빠른 가속도 와 감속 시간 을 갖게 된다. 트윈 베어링 지원 가이드 레일은 모든 프로세스 동작에서 정확성과 반복 성을 보장합니다. Ergospeed LPTSL/L 웨이퍼 핸들러는 open-loop 및 closed-loop 컨트롤을 포함한 다양한 모션 제어 옵션을 제공합니다. 또한 실행 중인 특정 웨이퍼 처리 프로세스에 따라 속도, 가속, 감속, 토크 수준을 조정할 수 있습니다. 다양한 기능을 추가하기 위해 웨이퍼 핸들러는 멀티 스텝 복합 이동, 페어링 (paired move), 호밍 (homing), 수동 조그 (manual jog) 등 다양한 고급 기능을 실행할 수도 있습니다. Ergospeed LPTSL/L 웨이퍼 핸들러에는 웨이퍼 처리 프로세스의 안전성과 신뢰성을 보장하도록 설계된 다양한 안전 (safety) 기능이 있습니다. 여기에는 자동 재시작 (auto-resumption) 및 자동 재시작 (auto-restart) 기능이 포함되어 있어 프로세스 중에 중단되지 않은 작업이 발생하는지 확인하며, 작업 중 거리 및 속도를 정확하게 측정할 수 있는 인코더가 내장되어 있습니다. 또한, 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 내구성 있는 스테인리스 (stainless) 섀시를 사용하여 외부 환경 조건을 방지하여 오래 사용할 수 있습니다. 편의성을 높이기 위해, Ergospeed LPTSL/L 웨이퍼 핸들러를 머신에 쉽게 통합 할 수 있으므로, 어떤 환경에서도 쉽게 사용할 수 있습니다. 간편한 소프트웨어 인터페이스와 간편하고 복잡한 웨이퍼 처리 (wafer handling) 요구 사항에 맞게 맞춤화된 맞춤형 설정으로 수동 (manual) 및 자동 (automated) 웨이퍼 처리 프로세스에 적합합니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 모듈식 공구 시스템, 고급 비전 시스템 등 다양한 호환 액세서리 (compatible accessory) 가 포함되어 있어 웨이퍼 처리 자동화를 위한 완벽한 솔루션이 제공됩니다. BROOKS AUTOMATION Ergospeed LPTSL/L 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼 처리에서 정밀도, 반복성 및 속도가 필요한 모든 반도체 프로세스에 적합합니다. 이 제품은 효율적이고, 안전하며, 안정적인 Wafer 처리 솔루션을 제공하며, 조작과 통합이 용이합니다. 품질 구성과 고급 모션 컨트롤 (motion control) 기능을 갖춘 이 웨이퍼 핸들러는 안정적이고 정확한 웨이퍼 처리 프로세스를 보장합니다.