판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed LPTS/R #9032627

JENOPTIK Ergospeed LPTS/R 웨이퍼 핸들러는 반도체 처리 및 웨이퍼 제작에 사용하도록 설계되었습니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 오늘날 기술적으로 발전된 반도체 제조업체의 요구 사항을 충족시키기 위해 설계된 포괄적인 기능을 제공하는 올인원 (All-in-one) 솔루션입니다. LPTS/R은 사용자에게 정확한 웨이퍼 전송 (wafer transfer) 및 가벼운 디자인의 정확한 정렬 프로세스를 제공합니다. BROOKS AUTOMATION Ergospeed LPTS/R 웨이퍼 핸들러는 고급 리프트 및 패널 정렬 장비로 설계되었습니다. 리프트 및 정렬 시스템은 두 개의 개별 구성 요소 (리프트 스테이션 (Lift Station) 과 정렬 스테이션 (Alignment Station)) 으로 구성됩니다. 리프트 스테이션 (Lift Station) 은 베이스에서 웨이퍼를 적극적으로 들어 올려 정렬 스테이션 (Alignment Station) 으로 전송하는 동안 정확하고 반복 가능한 배치를 보장합니다. [정렬 스테이션] 은 완벽한 패널 전송을 위해 웨이퍼를 정확하게 정렬합니다. Ergospeed LPTS/R은 링 카세트, 육각형, 직사각형 및 사각형 기판을 포함하여 다양한 기판 크기와 모양을 지원합니다. 또한 수동 (manual) 또는 자동 (automated) 작동을 위해 구성할 수 있는 닫는 메커니즘이 있는 로드 포트를 제공합니다. 또한 각 포트에는 로드 상태를 시각적으로 식별하기 위한 LED 표시기 (LED indicator) 와 장애나 손상의 정확한 탐지를 위한 로드 잠금 센서 (load lock sensor) 가 장착되어 있습니다. LPTS/R 웨이퍼 핸들러는 성능과 사용 편의성을 향상시키는 몇 가지 추가 기능으로 설계되었습니다. 리프트 모터 플레이트 (Lift Motor Plate) 는 16 개의 독립적 인 브러시리스 모터로 구성되어 있어 더 큰 스루핑 로딩과 짧은 사이클 시간을 허용합니다. 리프트 루프 구조는 핸들러가 300mm의 리프트 높이를 유지하는 데 도움이됩니다. 이 설계 요소는 또한 장비의 전력 소비를 줄이기 위해 작동합니다. 또한, 이 처리기는 부품 또는 부품을 쉽게 교환할 수 있는 모듈식 (modular) 유닛 아키텍처를 제공합니다. 따라서 사용자 유지 보수 (User Maintenance) 는 최소한으로 유지되고 시스템 (Machine) 은 최대 효율로 전체 실행됩니다. 마지막으로, Ergospeed LPTS/R은 사용자 및 장비를 보호하기 위해 고급 안전 메커니즘으로 설계되었습니다. 2 포인트 기계식 제한 스위치는 리프트 및 패널 정렬기를 모두 보호하는 반면, ESD 보호는 정적 구축을 억제합니다. 비상 사태의 경우, 이 도구는 비상 정지 (Emergency Stop), 이중 연동 시스템 (Dual Interlock System) 및 전원 장애 경보를 제공합니다. BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed LPTS/R 웨이퍼 핸들러는 정확한 웨이퍼 전송, 정확한 정렬 프로세스 및 안정적인 안전 메커니즘을 찾는 사용자에게 이상적인 솔루션입니다. 이 올인원 (All-in-one) 솔루션은 빠른 속도의 반도체 업계의 요구를 충족시키는 데 필요한 기능을 사용자에게 제공합니다.