판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed LPTS/L #9032628

JENOPTIK Ergospeed LPTS/L Wafer Handler는 반도체 처리를 위해 인체 공학적으로 설계되고 사용자 친화적 인 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 제품은 현재 시장에서 가장 안정적이고 견고한 wafer 처리기 중 하나로, 프로세스 호환성, 견고성, 위험 완화에 대한 고객의 요구를 충족할 수 있도록 설계되었습니다. LPTS/L (LPTS/L) 은 매우 로우 프로파일 웨이퍼 처리 시스템을 제공하며 바닥 또는 탁상 마운팅을위한 소형 설계를 갖추고 있습니다. BROOKS AUTOMATION 특허를받은 Ultra-Chloride 자유 표면 보호 기술이 적용되어 20 인치 및 25 인치 csp 웨이퍼, 직경 최대 8 인치 및 두께 7.5 미크론을 안정적으로 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 72dBa 미만의 조용한 작동을 특징으로하여 클린 룸 환경에 이상적입니다. LPTS/L은 알루미늄 (aluminum) 과 스테인레스 (stainless) 강철로 구성되며 모든 청소실 테이블 또는 바닥에 장착 할 수 있습니다. LPTS/L은 Wafer-to-Wafer 속도 0.02 초, Wafer-to-Cup 속도 0.1 초로 탁월한 정확성과 반복성을 제공하여 대용량 애플리케이션에 적합합니다. 총 리프트 용량은 500 그램이며, 'Proof Load' 기능 (옵션) 을 통해 올바른 웨이퍼와 커버가 로드됩니다. 이 기계는 또한 자동 웨이퍼 카세트 인식, 웨이퍼 excursia 감지 및 수정 및 자동 Prober 사이트 검증을 특징으로합니다. LPTS/L 은 기존 자동화 시스템에 쉽게 통합되며, 표준 직렬 인터페이스 (Serial Interface) 와 웨이퍼 위치를 추적하는 자동 웨이퍼 (Automated Wafer) 추적 도구 (옵션) 를 통해 효율적인 처리를 보장합니다. 또한, 특별한 소프트웨어 모듈 제공을 통해 고객별 프로세스 시스템을 구축할 수 있습니다. 전반적으로 BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed LPTS/L Wafer Handler는 현대 웨이퍼 처리 장비의 인상적인 예입니다. 로우 프로파일 (Low Profile) 설계, 로우 노이즈 (Low Noise) 작업, 뛰어난 정확도 및 반복성으로 인해 반도체 처리 애플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다. 또한, 사용자 친화적인 운영 자산, 통합 자동화, 고객별 소프트웨어 모듈 (Software Module) 을 통해 최고 수준의 웨이퍼 처리 요구 사항을 충족하는 다양한 솔루션이 될 수 있습니다.