판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280883

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II는 웨이퍼 기반 생산 프로세스를 자동으로 제어하기 위해 특별히 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치는 다양한 처리 단계 (processing stage) 간에 안전하게 웨이퍼를 전송할 수 있으므로, 효율적이고 안전한 작동이 가능합니다. JENOPTIK Ergospeed II (JENOPTIK Ergospeed II) 는 높은 처리량을 제공하며 초당 최대 2.7 미터 (2.7 미터) 까지 작동할 수 있으며 운영 시간이 향상되고 다운타임이 최소화됩니다. 웨이퍼 핸들러에는 3 차원 X-Y-Z 선형 액추에이터, 공기 베어링 스테이지 및 진공 기반 웨이퍼 그립 장비를 포함하는 일련의 독립 로봇 구성 요소가 있습니다. 모든 컴포넌트는 세 축 모두에서 복잡한 이동이 가능한 스마트 모션 시스템 (Smart Motion System) 에 통합됩니다. "에어베어링 '" 스테이지' 가 "웨이퍼 '의 안정적 이고 안전 한 움직임 을 제공 하는 동안, 작동기 는" 웨이퍼' 의 움직임 을 가능 한 한 정확 하게 제어 하도록 설계 되었다. 진공 기반 웨이퍼 그립 (wafer griping) 장치는 안전하고 반복 가능한 그립을 특징으로하며, 사용자가 안정적인 위치 정밀도를 제공합니다. 또한, 이 장치에는 충돌 방지 센서, 프로그래밍 가능한 안전 규칙 등 다양한 통합 안전 (safety) 기능이 장착되어 있습니다. BROOKS AUTOMATION Ergospeed II는 스텝 퍼, 스캐너 등의 기계에서 로봇 암에 이르기까지 다양한 기존 머신 플랫폼과의 호환성을 위해 설계되었습니다. "웨이퍼 핸들러 (wafer handler) '는 반자동 프로세스에 통합될 수도 있으므로 수동 작업이 필요한 애플리케이션에 적합합니다. 또한 다양한 증착 및 분석 시스템과 호환됩니다. 전반적으로, Ergospeed II는 인상적인 처리량 및 안전 보장을 제공하는 매우 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러입니다. 독립 로봇 부품, 통합 모션 머신 (Integrated Motion Machine), 통합 안전 (Integrated Safety) 기능을 통해 다양한 생산 단계 간에 웨이퍼를 효율적이고 안전하게 전송하여 매번 품질 결과를 얻을 수 있습니다.