판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280881

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II 웨이퍼 핸들러는 200mm 및 300mm 반도체 웨이퍼의 자동 생산을 위해 설계된 고성능 로봇 배달 장비입니다. 이 로봇 암은 리소그래피, 에칭, 확산, 연마 등 웨이퍼 프로세싱과 다른 생산 및 테스트 단계 사이의 웨이퍼 전송 및 웨이퍼 전송에 사용됩니다. 터치 스크린 디스플레이가 있는 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 로봇을 쉽게 제어할 수 있습니다. 손잡이의 인체 공학적 설계 (ergonomic design of the handler) 는 웨이퍼를 안전하고 효율적으로 처리하는 한편, 고품질 최종 제품을 제공합니다. 이 핸들러에는 내부 경장벽, 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼, 추가 보호를위한 연동 장치 (Interlock Mechanism) 와 같은 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 또한 전진/후진 (forward/backward) 움직임 사이에서 원활하게 전환하는 통합 듀얼 클러치 시스템 (dual clutch system) 과 로봇 암이 높은 정확도로 모든 방향으로 움직일 수있는 특허를받은 이중 조인트 드라이브 (joint-drive) 장치를 갖추고 있습니다. 이 설계는 수동 로드/언로드 프로세스를 제거하여 대규모 웨이퍼 (wafer) 생산 단계를 자동화 할 수있는 완전 자동 웨이퍼 전송 머신 (fully-automatic wafer transfer machine) 을 더욱 보완합니다. JENOPTIK Ergospeed II 웨이퍼 핸들러는 높은 토크 토크 모터와 인코더 피드백을 갖춘 모터 구동 스핀들에서 실행됩니다. 이는 빠른 웨이퍼 회전 속도를 허용하면서 고정밀 작동을 보장합니다. 고급 진공 흡입 장치 (Advanced vacuum suck-up mechanism) 는 손상 없이 웨이퍼를 안전하게 고정하고 전송하는 반면, 몇몇 센서는 진공 압력을 모니터링하여 장애 안전 (failsafe) 및 일관된 픽업을 보장합니다. "로봇 '은 또한" 핸들러' 의 정확 한 사용 을 보장 하는 여러 가지 유지보수 표시기 를 갖추고 있다. @ info: whatsthis 유지 관리 알림 (Maintenance Reminder) 도 사용할 수 있으며, 이를 사용자 정의하여 로봇에 대한 유지 관리 시간을 지정할 수 있습니다. 브룩스 자동화 에르고스피드 II 웨이퍼 핸들러 (BROOKS AUTOMATION Ergospeed II wafer handler) 는 강력한 로봇 암으로, 자동화된 생산 라인에서 웨이퍼 처리 및 전송을 위한 신뢰할 수 있는 고품질 솔루션을 제공합니다.