판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280754

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BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II
판매
ID: 9280754
SMIF Load port SLR 200 LPTSM/L.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II는 반도체 생산에서 로봇 지원 움직임을 최적화하도록 설계된 효율적인 웨이퍼 핸들러입니다. 이 "웨이퍼 핸들러 '는 최저품 의 품종 성분 과 컨베이어 벨트 를 갖춘" 로봇' 암 으로 만들어졌다. wafer Probing, Loading, Wafer Transfer, Unloading 등의 작업을 수행할 수 있습니다. JENOPTIK Ergospeed II는 웨이퍼 프로브, 로딩, 전송 및 언로드를 수행하는 간트리 장비를 갖춘 로봇 암으로 구성됩니다. 이 gantry 로봇 시스템은 최대 6 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수있는 소형 디자인을 제공합니다. 또한, BROOKS AUTOMATION Ergospeed II의 로봇 암은 정확성과 성능을 위해 설계되었으며, 정확한 움직임을 위해 서보 중심의 관절이 있습니다. 500mm x 500mm의 작업 영역 전체에서 +/- 0.03mm의 정확도를 달성 할 수 있습니다. Ergospeed II의 웨이퍼 로더 섹션은 스태커 로드 및 언로드 기능과 완전히 통합됩니다. 로더 메커니즘은 최대 500 개의 웨이퍼를 지속적으로 배치 로딩, 언로드, 저장할 수 있도록 설계되었습니다. "로봇 '암 과 적재 장치 사이 를 수송 하는" 컨베이어 벨트' 장치 에 "웨이퍼 '를 놓는 부가적 인 장치 가 특징 을 이룬다. 이 컨베이어 벨트 머신은 폐쇄 루프 (closed-loop) 반응을 사용하여 초당 최대 150mm의 정확한 위치 및 속도를 보장합니다. BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II의 다른 기능으로는 섭씨 -10 ~ + 40 도의 넓은 작동 온도 범위와 먼지 및 기타 입자가 장치에 들어가지 않고 성능에 영향을 미치는 밀봉 된 진입점이 있습니다. 또한 JENOPTIK Ergospeed II (JENOPTIK Ergospeed II) 는 도구 유지 관리 및 진단을 위한 툴과 빠른 설정 및 구성을 위한 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 내장했습니다. BROOKS AUTOMATION Ergospeed II 웨이퍼 핸들러는 소형 설계, 정확도, 강력한 성능 기능이 결합된 반도체 생산 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 최첨단 로봇 암 (robotic arm), 로더 (loader) 및 컨베이어 에셋 (conveyor asset) 은 기계식 축 이동을 최소화하고 출력을 최대화하면서 정확성과 신뢰성을 보장하도록 설계되었습니다.
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