판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280753

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II는 생의학 및 반도체 어플리케이션을 위해 정확하고 안정적인 웨이퍼 전송 및 조작을 제공하도록 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. JENOPTIK Ergospeed II 웨이퍼 핸들러는 반도체 웨이퍼를 전송, 정렬 및 정렬 할 수있는 자동 로봇 장치로, 시간당 2000 웨이퍼 이상의 속도로 1 ° m 미만의 정확도를 갖습니다. "로봇 '의" 플랫폼' 은 대용량 생산 "응용프로그램 '을 위하여 최대 15" 킬로그램' 의 하중 을 가지고 최대 3 개 의 "웨이퍼 '를 보유 하도록 구성 할 수 있다. 브룩스 자동화 에르고스피드 II (BROOKS AUTOMATION Ergospeed II) 의 프레임은 탄소 섬유 복합 로봇 암을 갖춘 아노디 화 된 알루미늄으로 만들어져 5 축으로 움직일 수 있으며, 광범위한 복잡한 동작을 제공합니다. 로봇에는 수정 된 Delta PLC 모션 컨트롤러와 서보 구동 선형 작동기가 장착되어 있습니다. 따라서 가속 및 감속 시간이 빨라져 더 빠른 웨이퍼 조작이 가능합니다. "로봇 '은 또한" 와퍼' 에 있는 "마커 '를 자동적 으로 집어" 로봇' 이 빠르고 정확 하게 "웨이퍼 '를 찾을 수 있게 하는 시력" 시스템' 을 갖추고 있다. 시력 시스템은 결함 탐지에 추가로 사용되며, 고급 웨이퍼 처리 (advanced wafer handling) 에서 다른 자동 작업에 사용할 수 있습니다. 에르 고스 피드 II (Ergospeed II) 는 또한 엔드스톱 감지 시스템, 과부하 보호, 모션 범위의 프로그래밍 가능한 한계 등 안정적인 작동을 위해 다양한 안전 기능을 제공합니다. 이것 은 "로봇 '이 여행 을 끝내지 않게 하며" 웨이퍼' 나 기계 자체 에 손상 을 입히게 한다. 로봇의 최대 속도는 1.5m/s이고 최대 작업 공간은 600mm입니다. 이 웨이퍼 핸들러는 많은 생의학 및 반도체 응용프로그램을 위한 컴팩트하고, 에너지 효율적이며, 비용 효율적인 솔루션입니다. BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II는 대용량 웨이퍼 처리 작업에 대한 광범위한 동작, 빠른 속도, 정확한 정확성을 제공합니다. JENOPTIK 에르고스피드 II (Ergospeed II) 는 긴 서비스 수명, 높은 내구성, 빠른 이동으로 반도체 생산 및 생의학 응용 분야의 성능을 극대화해야합니다.