판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280751

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BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II
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ID: 9280751
SMIF Load port SLR 200 LPTSM/R.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II는 웨이퍼 처리의 효율성, 정확성 및 처리량을 높이도록 설계된 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장비에는 성능, 신뢰성, 사용자 친화성을 높이는 많은 혁신적인 기능이 포함되어 있습니다. JENOPTIK Ergospeed II는 최대 300mm 웨이퍼를 처리하도록 설계된 매우 깨끗한 시스템입니다. 최첨단 필터 시스템을 사용하여 오염 물질을 웨이퍼 처리 (wafer-processing) 환경에서 분리하기 때문에 탁월한 오염 제어를 제공합니다. 또한 "웨이퍼 '의 질 과 공정 의 정확도 에 영향 을 미치는 공기 입자 를 정기적 으로 제거 하는 입자" 필터' 가 들어 있다. BROOKS AUTOMATION Ergospeed II는 또한 고해상도 카메라와 이미지 처리 알고리즘으로 구성된 고급 비전 유닛을 갖추고 있습니다. 이 기계는 웨이퍼에서 미묘한 결함을 감지하여 검사 시간을 단축시킬 수 있습니다. 또한, 여러 로봇과 통합하여 사용자가 다양한 위치에서 웨이퍼 (wafer) 이동을 제어할 수 있습니다. Ergospeed II는 또한 유연성이 높습니다. 스핀 코팅 (spin-coating), 습식 및 건식 에칭 (wet and dry etching), 산화 (oxidation) 와 같은 여러 가지 유형의 웨이퍼 처리를 수행 할 수 있습니다. 또한 사용자의 요구에 맞게 조정할 수 있는 다중 영역 (Multi-Zone) 난방 툴도 포함되어 있습니다. 이 에셋을 사용하면, 사용자가 수행해야 하는 각 프로세스에 가장 알맞게 가열 (heating) 조건을 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 장비 매개변수와 상세한 프로세스 정보에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 이렇게 하면 사용자가 프로세스를 빠르고 정확하게 제어하여 결과를 최적화할 수 있습니다 (영문). BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II는 또한 다양한 모듈식, 교환 가능한 구성 요소를 제공하므로 필요할 때 시스템 업그레이드 또는 확장이 간단합니다. 결국, JENOPTIK Ergospeed II는 다양한 고급 기능과 기능을 제공하는 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 빠르고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 결과를 제공하도록 설계되어, 웨이퍼 (Wafer) 처리 어플리케이션을 위한 완벽한 선택입니다.
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