판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280740

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II는 반도체 생산을 위해 효율적이고 안정적인 웨이퍼 핸들러입니다. 직경 8 ~ 300mm의 웨이퍼를 처리하는 생산 라인을 위해 설계되었습니다. 자동화된 처리 (automated handling) 프로세스를 통해 반도체 생산 환경에서 프로세스 단계 간에 웨이퍼를 정확하고 일관되게 전송할 수 있습니다. JENOPTIK Ergospeed II는 원래 위치와 로봇 가공 또는 저장 스테이션 사이에 웨이퍼를 효율적으로 운송하는 관절 암 디자인의 2 축 로봇 암을 사용합니다. 팔은 최대 8kg (17.6lbs) 의 단일 웨이퍼 또는 최대 30kg (66lbs) 의 여러 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. Wafer 이동은 다른 프로덕션 라인과 프로그래밍 가능한 논리 컨트롤러 (programmable logic controller) 로 제어 및 동기화됩니다. 팔 의 움직임 은 "웨이퍼 '에 정확 하게 맞도록 조정 할 수 있으며, 그것 은 손상 으로부터 보호 해 준다. BROOKS AUTOMATION Ergospeed II (Automation Ergospeed II) 는 이미지 카메라를 사용하여 웨이퍼를 필요한 정확한 각도, 회전 및 위치에 위치시켜 자동 사전 정렬을 제공합니다. 이 자동화된 시스템은 수동으로 정렬할 필요가 없으며, 인적 오류의 위험을 줄여줍니다. 자동 정렬 프로세스를 통해 웨이퍼 크기가 자동으로 인식되고 그에 따라 조정됩니다. "스테이션 '간 에" 웨이퍼' 를 옮길 때, 팔 은 환승 "스테이션 '과 가능 한 한 가깝게 유지 되어" 웨이퍼' 오염 의 위험 을 감소 시킨다. 또한 "웨이퍼 '는 안전 한 전사 를 위해 양면 에 굳게 붙어 있다. 각 전송 (transfer) 의 정확성은 전체 프로세스를 기록하는 내부 데이터 로거 (data logger) 로 모니터링되며 각 전송에 대한 상세한 감사 추적 (audit trail) 을 제공합니다. 에르고스피드 II (Ergospeed II) 는 운영 프로세스의 처리량과 정확성을 높이고 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 구동 소프트웨어 (Driving Software), 유지 보수 도구 (Maintenance Tool), 안전 시스템 (Safety System) 과 같은 다양한 지원 구성 요소가 포함되어 있어 핸들러가 최고 성능으로 작동하는지 확인합니다. JENOPTIK는 고효율, 고출력 생산 라인을 지원하기 위해 BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II 웨이퍼 핸들러를 설계했습니다. 자동화된 처리 프로세스 (automated handling process) 와 효율적인 설계는 오염이나 손상의 위험을 최소화하면서 안정적이고 일관된 웨이퍼 전송을 제공합니다. 이는 효율적이고 안정적인 반도체 생산 프로세스를 보장합니다.