판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280738

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II는 반도체 웨이퍼 처리에 사용되는 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 이 시스템은 다양한 반도체 웨이퍼 처리 도구 간의 웨이퍼 로드, 언로드, 전송을 용이하게하도록 설계되었습니다. JENOPTIK Ergospeed II (JENOPTIK Ergospeed II) 는 운영자의 개입을 최소화하여 이전 웨이퍼 처리 시스템에 필요한 많은 수작업을 제거하도록 설계되었습니다. BROOKS AUTOMATION Ergospeed II는 컴퓨터 제어 웨이퍼 스테이지와 함께 작동하는 독점 위치 액츄에이터를 사용합니다. 이 조합을 통해 핸들러는 외부 간섭이없는 동안 웨이퍼를 정확하고 정확하게 이동할 수 있습니다. Ergospeed II는 분류기, 톱, 그라인더, 폴리셔, 스핀 코터 및 광 검출기를 포함한 다양한 유형의 웨이퍼 처리 도구와 인터페이스 할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II는 웨이퍼 매거진과 스토리지 트레이를 특징으로하여 핸들러에서 Loading, Unloading 및 Wafer-Transport 작업을 동시에 수행할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 정렬 장치 (wafer alignment mechanism) 가 장착되어 있는데, 레이저 이미징 시스템을 사용하여 웨이퍼가 제대로 배치되었는지 확인하고 웨이퍼 표면적과 핸들러 내부 구성 요소 간의 접촉을 방지합니다. JENOPTIK Ergospeed II는 단일 작업에서 최대 200 개의 웨이퍼를 처리하여 처리 시간을 더 줄일 수 있습니다. 또한 한정된 작업 공간 (working space) 에서 작동 할 수 있으므로 바닥 공간이 제한된 실험실에도 적합합니다. 또한, 모듈식 설계를 통해 유지 보수 및 수리 (maintenance and repair) 와 관련된 비용을 절감하여 다른 구성 요소를 그대로 두면서 처리기의 특정 부분에 신속하게 액세스하고 교체할 수 있습니다. 전반적으로 BROOKS AUTOMATION Ergospeed II는 정교하게 설계된 자동 웨이퍼 핸들러로, 정확한 움직임과 안정적인 운영을 제공합니다. 이 시스템은 처리 시간을 줄이고, 안전을 향상시키며, 설치 공간 및 자원이 제한된 실험실에 적합합니다.