판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280737

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II는 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 자동화하도록 설계된 고속 웨이퍼 핸들러입니다. 직경 100mm ~ 300mm 범위의 업계 표준 웨이퍼 크기와 호환되며, 다양한 어플리케이션을 사용할 수 있습니다. JENOPTIK Ergospeed II (JENOPTIK Ergospeed II) 는 고급 모터 기술을 사용하여 정확하고 일관된 웨이퍼 처리를 보장하여 처리 시간을 최소화하고 수율을 향상시킵니다. BROOKS AUTOMATION Ergospeed II는 웨이퍼 로드 및 언로드 시스템의 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 로드 포트는 단면 웨이퍼 로딩을 지원하고, 양면 웨이퍼 로딩 또는 언로딩을 허용하도록 설계되었습니다. 또한 다양한 프로세스 내 비전 검사 기능 (예: 적외선 및 자외선 이미징, 객체 인식) 이 있습니다. 또한, 온보드 비전 장비를 사용하여 자동 정렬 및 정렬 보정을 달성 할 수 있습니다. 에르 고스 피드 II (Ergospeed II) 는 통합 웨이퍼 방향 시스템을 갖추고 있어 장치에 웨이퍼를 정확하게 배치 할 수 있습니다. 이 기계는 2 개의 수직 카메라 시스템을 사용하여 웨이퍼의 360도 이미지를 생성하여 웨이퍼 인식 (wafer recognition) 및 추가 웨이퍼 처리를 허용합니다. 또한, 웨이퍼 정렬 도구를 사용하여 웨이퍼를 처리 챔버에 정확하게 장착할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II는 통합 고성능 드라이브 모터를 장착하여 정확한 모션 제어 및 유연성을 제공합니다. 이 자산은 고속 작동을 위해 설계되었으며, 최고 속도 (200mm/s) 의 빠르고 일관된 웨이퍼 처리를 제공합니다. 고해상도, 동적 드라이브 모델은 지터와 진동을 제어하면서 부드러운 동작을 제공합니다. 안전성 측면에서 JENOPTIK Ergospeed II (JENOPTIK Ergospeed II) 에는 와퍼 운영자가 기계와의 우발적 접촉으로부터 보호하기위한 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이 기능에는 장비 가동 중 연동 장비 (Interlock Equipment) 와 우발적 접촉을 방지하기위한 안전 커버가 포함됩니다. 또한 비상 정지 시스템도 포함됩니다. 전반적으로 BROOKS AUTOMATION Ergospeed II는 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 자동화하기 위해 설계된 고급형 웨이퍼 핸들러입니다. 정교한 모터 기술은 최대 속도 (200mm/s) 로 정확하고 일관된 웨이퍼 처리를 보장합니다. 통합 안전 기능은 웨이퍼 운영자에게 더욱 안전하게 보호합니다. 광범위한 기능을 갖춘 이 장치는 고속 웨이퍼 (Wafer) 처리에 이상적인 제품입니다.