판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9280221

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BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II
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ID: 9280221
SMIF Loading system SLR LPTSM/R.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II는 반도체 제작 공정에서 웨이퍼의 로드 및 언로드를 위해 설계된 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장비는 빠르고, 안정적이며, 정확한 처리를 제공하도록 설계되었으며, 모든 유형의 진공 (in-vacuum) 공정 장비에 사용될 수 있습니다. 또한 다른 프로세스 모듈 (process module) 간의 웨이퍼 로드 및 언로드에도 사용할 수 있습니다. JENOPTIK Ergospeed II는 컴팩트하고 사용하기 쉬운 장치로, 사용자에게 최대의 유연성을 제공합니다. 완전 모듈식 (Full Modular) 디자인의 인체 공학적 조작기 (Eronomic Manipulator Arm) 는 와퍼의 접근성, 신뢰성 및 깨끗한 작동을 용이하게 해줍니다. "로봇 '은 직경 이 최대 6" 인치' 에 이르는 크기 의 "웨이퍼 '를 정확 하게 집어 올릴 수 있다. BROOKS AUTOMATION Ergospeed II는 또한 빠른 웨이퍼 정렬과 작동 정확성을 제공합니다. "파워 드라이브 '장치 는" 웨이퍼' 의 정확 한 속도 조절 과 로드/언로드 를 안전 하고 효율적 인 방법 으로 제공 한다. "로봇 '은 또한 적응 형" 그리퍼' 를 사용 하여 "웨이퍼 '를 손상 시키지 않고 안전 하게 보관 할 수 있다. 또한 Ergospeed II에는 포괄적 인 안전 시스템이 제공됩니다. 안전 모니터링 (Safety Monitoring) 장치가 내장되어 있어 운영 환경에서 위험 요소를 지속적으로 점검할 수 있습니다. 로봇은 또한 고급 모션 체크 루틴 (motion check routine) 을 실행하여 웨이퍼 처리 프로세스의 정확성과 안전성을 보장합니다. BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II는 기존 생산 라인에 쉽게 통합할 수 있습니다. 로봇은 단단한 공간에 설치할 수 있으며, 빠른 설치를 위해 고급 인터페이스 (advanced interface) 와 함께 제공됩니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 운영 편의성과 신속한 응답 시간을 보장합니다. JENOPTIK Ergospeed II는 반도체 제작 공정에서 웨이퍼 처리에 이상적인 솔루션입니다. 그것 은 정확성 과 안정성 을 제공 하며, 직경 이 최대 6 "인치 '인" 웨이퍼' 를 처리 할 수 있다. 이 로봇은 또한 고급 안전 모니터링 시스템 (Safety Monitoring Machine) 과 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 갖추고 있어 작동이 쉽고 응답 시간이 빠릅니다. 신뢰할 수 있고 사용하기 쉬운 웨이퍼 처리 솔루션을 찾는 사람들에게 적합한 선택입니다.
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