판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9187136

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II는 최대 200mm (8 인치) 웨이퍼를 처리 할 수있는 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장비는 완전히 통합 된 웨이퍼 전송 시스템, 현장 비전 모니터링 및 정교한 웨이퍼 처리 작업을 갖추고 있습니다. JENOPTIK Ergospeed II의 웨이퍼 전송 장치는 고속 및 최적의 웨이퍼 보호를 위해 설계되었습니다. X-Y 드라이브, 기울기 드라이브 및 고정밀 픽앤 플레이스 스테이션이 특징입니다. 인체 공학 "디자인 '은 진동 과 기계적" 스트레스' 를 최소화 하기 위해 설계 되었으며, 공기 리프트 스테이션 은 수송 중 "웨이퍼 '에 과도 한 난류 와 마모 를 방지 한다. 또한, 진공 리프트 장치 (vacuum lift unit) 는 목적지 위치로 안전하고 빠른 웨이퍼 수송을 제공합니다. 현장 비전 모니터링 시스템 (In-Situ Vision Monitoring Machine) 은 연산자에게 동작 (Motion) 과 일치 연산, 그리고 처리 프로세스의 다른 장애 또는 불일치를 가공하도록 감지하고 경고하는 데 사용됩니다. 시력 도구에는 웨이퍼 표면의 불규칙성을 감지 할 수있는 2 개의 고해상도 카메라가 있습니다. 이렇게 하면 모든 웨이퍼가 가장 정밀하게 처리됩니다. BROOKS AUTOMATION Ergospeed II 의 정교한 wafer-handling 작업은 BMR (Bare Wafer) 및 패키지 IC 의 처리를 위한 신뢰성이 높은 환경을 만듭니다. 단일 웨이퍼 용량 '앵커' 캐리어, 단일 도구 플랫폼, 다중 캐리어 전송 시스템 등과 같은 다양한 툴링 옵션을 지원합니다. 웨이퍼 취급 자산에는 회전 목마 및 트레이 교환 시스템도 포함됩니다. 이것들은 총체적으로, 프로세싱 머신에서 부드럽고 안정적인 웨이퍼 전송을 가능하게합니다. 웨이퍼 로더 모델은 300mm (12 인치) 웨이퍼 처리 및 로봇 통합과 같은 추가 웨이퍼 생산 기능으로 쉽게 업그레이드 및 개조 할 수 있습니다. JENOPTIK PantherX 소프트웨어를 사용하여 프로그래밍 및 작동합니다. 이 Windows 기반 소프트웨어는 간단하고, 직관적이며, 포괄적인 사용자 인터페이스를 제공하여 장비의 모든 기능에 액세스하고 제어합니다. Ergospeed II는 대용량 웨이퍼 처리에 이상적인 솔루션입니다. 인체 공학적 설계, 고속, 정확성으로 인해 산업 생산 환경에 완벽한 선택이되었습니다. 다양한 툴링 (tooling) 옵션을 통해 모든 애플리케이션에 적합한 솔루션이 될 수 있습니다.