판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9134142

ID: 9134142
빈티지: 2000
Systems LPTSM/R (right) Includes: SLR 200 LPTSM/L and R 2000 vintage.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II 웨이퍼 핸들러는 특히 효율적인 프런트 엔드 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 개별 워크플로 (workflow) 로/아웃된 웨이퍼를 전송할 수 있도록 설계된 이 하이엔드 툴은 효율적인 반도체 (semiconductor) 제작을 가능하게 하는 데 중요한 역할을 합니다. JENOPTIK Ergospeed II는 여러 가지 기능과 기능을 통합하여 오늘날의 빠른 속도의 반도체 프로세스에 이상적인 솔루션이 됩니다. 이 시스템은 유연하고 견고한 아키텍처를 제공하여 다양한 어플리케이션을 지원합니다. 첫째, 이 장치에는 최대 15 개의 웨이퍼를 한 번에 처리 할 수있는 1 차 셔틀 어셈블리가 장착되어 있어 처리량이 증가합니다. 동시에, 보조 셔틀 머신 (secondary shuttle machine) 이 설치되어 한 포켓에서 다른 포켓으로 자동으로 웨이퍼를 전송할 수 있습니다. 도구의 또 다른 주요 기능은 지능형 모션 컨트롤입니다. 이렇게 하면 모든 웨이퍼가 최적의 처리를 위해 사용 (use) 영역에 정확하게 배치됩니다. 이것은 특히 여러 웨이퍼 패스가 필요한 프로세스에 유용합니다. 동작 제어 (motion control) 자산은 고유한 비전 추적 시스템 (vision tracking system) 에서도 지원되며, 이는 작업 표면에 정확한 웨이퍼 배치를 보장하는 데 도움이 됩니다. BROOKS AUTOMATION Ergospeed II는 또한 고급 안전 기능을 통합하여 안전한 작업 환경을 보장합니다. 여기에는 다른 여러 보조 안전 장치와 함께 이중 벽 안전 모델이 포함됩니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '와 귀중 한 공정 장비 를 모두 손상 시킬 수 있는 위험 요소 가 전혀 없게 된다. 에르고스피드 2 세 (Ergospeed II) 는 안정적이고 효율적인 웨이퍼 처리 장비를 찾는 모든 반도체 공장에서 매력적인 솔루션입니다. 높은 처리율, 견고한 구성 및 장기적인 품질 보증을 제공합니다. 또한, 이 시스템은 다른 프로세스 및 도구와 쉽게 통합됩니다. 즉, 오늘날 반도체 생산 라인의 핵심 구성 요소가 될 수 있습니다.
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