판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Ergospeed II #9093060

BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II는 단면 및 양면 기판 응용 프로그램 모두를 위해 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 효율성, 안전성을 향상시켜 최고의 처리율을 달성하도록 설계된 다양한 기능을 제공합니다 (영문). 동력 기판 변환 장비는 정밀 제어 모터를 사용하여 수동 시스템에 비해 빠르고 동적 (dynamic) 이동을 사용할 수 있습니다. 또한 데드 타임을 줄이고 사이클 시간을 최소화하는 최적화 된 전략을 통합합니다. JENOPTIK Ergospeed II는 모든 기계적 설계로 인해 다운타임 없이 높은 처리 속도를 제공합니다. 브러시리스 (brushless) 모터와 결합된 고급 서보 드라이브는 가장 효율적이고 정밀한 움직임을 가능하게 하는 반면, 내부 전자 시스템으로 보강된 8 영역 외부 위치 감지 (8 zone external positional sensing) 는 부드럽고 정밀한 동작 제어를 보장합니다. BROOKS AUTOMATION Ergospeed II는 최고 수준의 정확성과 신뢰성을 제공하는 더블 그리핑 (double gripping) 전극을 갖춘 고급 듀얼 로드 포트 장치를 갖추고 있습니다. 듀얼헤드 (Dual-head) 로봇에는 기판 따기 및 배치를 보장하기 위해 독립적으로 제어 할 수있는 2 개의 스핀들 헤드가 장착되어 있습니다. Ergospeed II에는 통합 로봇 안전 장치 (robotic safety machine) 가 있으며, 제어 도구 환경에서 모든 안전 부품, 연동 및 연동 매트릭스에 대한 액세스를 제공합니다. 또한 모든 웨이퍼 로드 위치를 자동으로 조정하는 자동 교정 에셋 (auto-calibration asset) 과 정렬을 돕고 부정확성을 찾는 비전 (vision) 모델이 포함됩니다. BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK Ergospeed II는 사용자 친화적이고 직관적으로 작동하도록 설계되었습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스와 그래픽 표현 (graphical representation) 을 통해 기판 처리를 간편하게 모니터링하고 제어할 수 있으며, 장비 전체에서 웨이퍼 상태를 추적할 수 있습니다. 또한 기판 로딩, 처리 영역 전송에 대한 리셉터클, 해치 및 스톨 오프닝 (Hatch and Stall Opening) 과 같은 작업을위한 독점 워크플로도 제공됩니다. 전반적으로 JENOPTIK Ergospeed II는 고정밀, 고해상도 웨이퍼 처리를 위한 탁월한 선택입니다. 고급 로봇 시스템 (robotic system), 안전 시스템 (safety system), 교정 시스템 (calibration system) 및 직관적인 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 의 조합은 모든 실험실 또는 생산 시설에 적합한 선택입니다. 그 정확성과 신뢰성은 모든 웨이퍼 (wafer) 처리 요구에 비용 효율적인 솔루션이 됩니다.