판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK 450 Vision #293624681
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ID: 293624681
Wafer loadport, 18"
Part number: 176334-03
BROOKS LF60 Solid RFID module
Power supply: 110-240 V, 50-60 Hz, 4 A.
BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK 450 Vision은 반도체 제조 응용 분야에 사용하도록 설계된 정교한 웨이퍼 핸들러입니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 임베디드 비전 장비가 장착 된 공압 동력 로봇 암 (Robotic Arm) 을 특징으로하며, 물체를 정확하게 식별, 찾기 및 조작할 수 있습니다. 즉, 수동 정렬 (manual alignment) 및 조작 (manipulation) 의 필요성이 없어서 처리량이 많아지고 안정성이 높아지기 때문에 웨이퍼 및 기타 기판을 처리하는 데 이상적입니다. JENOPTIK 450 Vision에는 정밀 선형 정렬 시스템 (Optical Encoder 및 정적 및 동적 정렬 센서의 조합) 이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 처리 과정에서 웨이퍼의 위치와 동작을 정확하게 제어할 수 있습니다. 로봇 암은 강력한 공압 구동 장치 (pneumatic drive unit) 에 의해 구동되며, 가속, 속도 및 힘 제어를 위한 유연한 옵션이 있습니다. 로봇 암은 최대 200mm/초의 속도에 도달 할 수 있으며, 이는 처리량을 증가시키는 데 도움이됩니다. 기계 에는 또한 "웨이퍼 '의 위치 를 정확 하게 식별 할 수 있는 시력 도구 가 있다. 이 옵션은 정렬, 측정, 크기 조정 프로세스와 함께 미리 정의된 목록에서 객체를 선택하는 데 사용할 수 있습니다. 비전 에셋은 로봇 암 (robotic arm) 과 동기화하여 빠르고 정확한 작동을 가능하게 하도록 구성 될 수 있습니다. 또한 BROOKS AUTOMATION 450 Vision은 다양한 피드백 센서로 설계되었습니다. 이러한 피드백 센서 (feedback sensor) 는 웨이퍼 위치를 정확하고 일관되게 표시하므로 처리 과정에서 더 정확하게 조정할 수 있습니다. 이는 복잡한 형성 프로세스 중에도 일관되게 고품질 출력을 보장합니다. 450 Vision 은 다른 자동화 시스템에 쉽게 통합되며, 특정 고객 요구에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 이 모델의 통합 안전 기능 (예: 내장 안전 스위치, 레이저 발 센서) 은 작동이 안전하고 안전하다는 확신을 더해줍니다. 또한, 에너지 효율 및 청소 실 호환 구성 요소는 지속 가능한 제조를 지원하는 데 도움이됩니다. 전반적으로 BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK 450 Vision은 효율적이고 정확한 웨이퍼 처리에 이상적인 솔루션입니다. 정확성, 정교한 임베디드 비전 (Embedded Vision) 장비, 통합 안전 기능을 통해 다양한 반도체 제조 어플리케이션에 적합합니다.
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