판매용 중고 BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK 200 L / 200 R #9241552
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BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK 200 L/200 R은 반도체 웨이퍼 제조를 위해 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 최대 4 인치 크기의 웨이퍼를 고정밀 자동 처리하기 위해 사용할 수있는 2 단계 로봇 암 (robot arm) 시스템입니다. 두 단계 의 "로봇 '무기 는 광범위 한 기판 들 에 대해 동시" 픽' 과 장소 와 "웨이퍼 '뒤집기 작업 을 한다. 200 L 시리즈는 정밀한 Z축을 가지고 있으며, 3 차원 공간에서 웨이퍼를 반복적으로 조작 할 수 있습니다. 웨이퍼 플립 및 인덱싱을 위해 최대 3 개의 픽 앤 플레이스 솔루션을 제공합니다. 200R은 200 L 모델보다 약간 더 긴 도달 범위를 가지고 있으며, 측면 및 수직 이동이 모두 필요한 응용 프로그램에 적합합니다. JENOPTIK 200 L/200 R은 다른 웨이퍼 핸들러보다 더 높은 이동 범위를 제공하며 XY 방향으로 피벗, 비틀기 및 이동할 수 있습니다. 로봇 암은 정확한 목표 포지셔닝 및 방향 이동 정확도를 위해 설계되었으며, 매우 정확한 회로 라우팅 및 어셈블리를 위한 칩-칩 (chip-to-chip) 정렬이 가능합니다. 또한 30 축 구성으로 더 광범위한 취급 음향을 제공합니다. BROOKS AUTOMATION 200 L/200 R은 내구성과 안정성이 있으며, 운영 제어 및 모니터링을 위해 특별히 설계된 고급 독점 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 안전 장치 (Safety Features) 가 장착되어 있으며 빠른 속도로 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 빠른 웨이퍼 처리는 고속, 자동 웨이퍼 처리 시스템에 적합한 탁월한 선택입니다. 200 L/200 R은 고급 온라인 모니터링 시스템과 전극 유지 관리 시스템, 여분의 웨이퍼 트레이 등 다양한 액세서리 (옵션) 를 갖추고 있습니다. 오염이나 오정의 가능성을 최소화하면서 안정적인 정밀 웨이퍼 처리를 제공합니다. 신뢰할 수 있고, 효율적이며, 다양한 기판을 처리 할 수있는 고성능 웨이퍼 로봇을 찾고 있다면 BROOKS AUTOMATION/JENOPTIK 200 L/200 R은 탁월한 선택입니다. 이 제품은 복잡한 웨이퍼 (Wafer) 처리 작업을 위한 완벽한 선택이며, 빠른 처리 기능을 통해 고속 웨이퍼 (Wafer) 제조 및 조립에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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