판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Guardian #9018586

BROOKS AUTOMATION Guardian은 다양한 반도체 제작 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 반자동 웨이퍼 핸들러입니다. 가디언 (Guardian) 은 작은 다이 슬라이스 (die slices) 에서 큰 조각까지 거의 모든 크기의 웨이퍼 (wafer) 를 처리 할 수 있으며, 최대 효율과 정확도로 작동하도록 설계되었습니다. 브룩스 오토 메이션 가디언 (BROOKS AUTOMATION Guardian) 은 검증된 기계식 트레이 로더 및 자동 피더 로봇을 사용하여 도구의 와퍼 (wafer) 를 정확하게 배치하고 안전하게 처리합니다. 또한 프로세스 도구 간 웨이퍼 슬라이스 및 웨이퍼 전송, 웨이퍼 카세트 및 프레임 출력, 웨이퍼 디스크 (wafer disk) 및 보트 캐리어 (boat carrier) 의 웨이퍼 슬라이스 입력 및 출력, 여러 슬라이스를 포함하는 컨테이너 입력 및 출력 등 다양한 웨이퍼 처리 기능을 제공합니다. 동시에. 가디언 (Guardian) 은 웨이퍼 처리 기능 외에도 대용량 웨이퍼 슬라이싱 어플리케이션을 위해 안정적이고 반복 가능한 작업을 제공합니다. 첨단 모션 컨트롤 알고리즘은 와퍼 (wafer) 를 안전하고 정확하게 배치하고 슬라이싱 (slicing) 하는 동시에, 웨퍼 컨테이너의 안정적인 자동 로드 및 언로딩을 가능하게 합니다. 기능을 더욱 향상시키기 위해 BROOKS AUTOMATION Guardian에는 레시피 에디터, 프로세스 모니터, 검사 기능, 외부 레시피 지원 등 다양한 맞춤형 소프트웨어 옵션이 포함되어 있습니다. 또한 사용이 간편한 Operator Control Interface를 통해 웨이퍼 처리 프로세스를 간소화할 수 있습니다. 전반적으로 가디언 (Guardian) 은 다양한 반도체 제작 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 안정적이고 효율적인 웨이퍼 핸들러입니다. 강력한 기능과 자동화된 기능을 통해 대용량 제조 작업에 이상적인 솔루션이 됩니다.