판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Guardian #9018585

BROOKS AUTOMATION Guardian은 민감한 반도체 시설에 사용되는 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 삽입 직경이 300 또는 460mm 인 최대 6 개의 표준 25mm 또는 50mm 웨이퍼의 처리 및 보관 용으로 설계되었습니다. 가디언 (Guardian) 은 처리량을 증가시키면서 민감한 웨이퍼에 대한 최대 보호 기능을 제공하도록 설계되었습니다. BROOKS AUTOMATION Guardian에는 웨이퍼의 무결성을 보호하는 다양한 기능이 있습니다. "웨이퍼 '는 환경 상 으로 밀봉 되어 먼지 오염 을 방지 하고 있으며, 여러 가지" 센서' 가 "웨이퍼 '위치 나 온도 의 변화 를 감지 하여 위험 에 대한 경고 를 한다. 외부 환경으로부터의 격리 수준이 향상되어 정전기 전하를 줄일 수 있습니다. 외부 전원 공급 장치는 부품이 손상될 수 있는 서지를 더욱 방지합니다. 장비의 유연성은 핸들러 (Handler) 의 자동 및 수동 작동을 모두 허용합니다. 웨이퍼 교환 및 배송을 단순화하는 반자동 레시피 기반 플랫폼이 장착되어 있습니다. 가디언 (Guardian) 은 다양한 웨이퍼 크기와 공정 온도를 수용하여 다양한 프로세스를 실행할 수 있습니다. 성능면에서 BROOKS AUTOMATION Guardian은 초당 최대 24축의 동작 속도를 제공하는 빠르고 정밀한 모션 컨트롤 시스템 (motion control system) 으로 구동되며, 웨이퍼 전송 시간을 줄이고 처리량을 증가시킵니다. 제어 장치 (Control Unit) 는 고급 비전 카메라 (Vision Camera) 및 스캐닝 시스템 (Scanning System) 과 연결되어 웨이퍼 지형을 측정할 수 있으며, 개별 웨이퍼의 올바른 처리를 확인하는 데 도움이됩니다. 전반적으로 가디언 (Guardian) 은 민감한 웨이퍼를 처리하고 다양한 산업에 서비스를 제공 할 수있는 새로운 웨이퍼 핸들러를 찾는 고객에게 이상적인 선택입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 Wafer 제공 및 교환을 위한 안정적인 보호 및 향상된 속도, 그리고 다양한 Wafer 크기 및 프로세스 온도로 작업하는 유연성을 제공합니다. 고급 모션 컨트롤 머신 (motion control machine) 과 카메라 (camera) 및 스캐닝 (scanning) 시스템은 안전한 웨이퍼 처리 및 처리 확인 기능을 제공합니다.