판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Guardian #9018584

BROOKS AUTOMATION Guardian ™ 웨이퍼 핸들러는 반도체, MEMS 및 광자 웨이퍼의 로봇 처리를 자동화하는 신뢰할 수 있는 업계 최고의 솔루션입니다. 매우 깨끗한 아키텍처와 기능을 갖추고 있어 오염 없는 제조 환경에서 동급 최강의 연약한 재료를 처리할 수 있습니다 (영문). 웨이퍼 핸들러는 꾸준한 모션 기술을 갖춘 브룩스 (Brooks) 의 정밀 로봇 공학을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 와 초저입자 수의 층류 흐름을 보장합니다. 특허받은 기계 처리 장치 (웨이퍼 수준 정렬 장비) 는 손상 없이 스토리지 카세트에서 안전한, 견고한 접착, 웨이퍼를 분리합니다. 이 시스템은 다양한 툴링 (tooling) 및 동작 제어 옵션 (motion control options) 을 갖추고 있어 거의 모든 요구 사항을 충족하는 맞춤형 자동화 솔루션을 제공합니다. Guardian의 깨끗한 방 준비 공사는 제조 및 이동 중 오염 물질을 제거합니다. 반투명 로봇 공학은 가시성을 지원하며, 공정 제어를 개선하고, 최고 수준의 식물 안전, 생산성, 품질을 보장합니다. 이 장치는 또한 컴팩트 한 디자인으로 정확한 모션 제어 (motion control) 및 효율적인 공간 사용을 제공합니다. 고급 비전 머신 (advanced vision machine) 은 웨이퍼 모션과 크게 통합되어 기계가 더럽고 깨끗한 웨이퍼를 식별하고, 카세트 스택을 분석하고, 마이스로드를 감지 할 수 있습니다. 통합 웨이퍼 방향 도구는 다운스트림 (downstream) 프로세스의 웨이퍼를 정확하게 정렬하여 프로세스 오류 및 스크랩을 최소화합니다. 또한 BROOKS AUTOMATION Guardian 웨이퍼 핸들러는 설치, 구성 및 유지 관리가 간단합니다. 이 제품은 혹독한 환경에서 최적의 가동 시간을 위해 ESD 안전 (ESD-safe) 방식으로 설계되었으며, 원격 진단 및 진단 알림을 제공합니다. 이 시스템은 확장성이 뛰어나고 기존 자동화 시스템과 호환됩니다. 고해상도 정확성과 자동화 유연성 (Automation Flexibility) 을 갖춘 Wafer Handler는 보다 빠른 처리 속도를 위해 높은 수준의 생산성을 제공합니다. 가디언 웨이퍼 핸들러 (Guardian wafer handler) 는 대용량 반도체 및 광자 제조 조직의 요구를 충족시키는 효율적이고 신뢰할 수있는 솔루션입니다. 고급 기능, 높은 확장성, 원격 진단 기능을 제공하며, 고급 로봇을 클린 룸 (clean room) 아키텍처 및 모션 컨트롤과 완벽하게 통합합니다.