판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Fixload V6 #9354502

ID: 9354502
빈티지: 2002
Load port 2002 vintage.
브룩스 자동화 픽스로드 V6 (BROOKS AUTOMATION FixLOAD V6) 은 반도체 제조업체가 집적 회로 생산의 비용과 복잡성을 줄일 수 있도록 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. Fixload V6은 'Fix-First' 제조의 철학을 준수합니다. 'Fix-First' 제조는 양도 전에 취급 장비에 대해 확보됩니다. 즉, FOUP, UDC300, TMAF, SEMI 및 CFM과 같은 광범위한 운송을 통해 운반 할 수 있습니다. 자동화된 처리 시스템 (automated handling system) 은 간단하고 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 설치와 시동이 놀랍도록 간편합니다. BROOKS AUTOMATION Fixload V6을 사용하면 최대 16개의 카세트를 수동으로 로드, 언로드, 전송 및 청소할 수 있습니다. 이 장치는 웨이퍼 로딩, 전송 및 청소를 완전히 자동화하고 언로드할 수 있도록 설계되었습니다. 이 기계는 모든 병렬/단일 웨이퍼 (parallel/single wafer) 처리 및 청소 응용 프로그램을 지원하며, 다양한 온도 조절 시스템 및 다양한 진공 시스템에서 작동합니다. "로봇 '암 은" 챔버' 내 의 운동 을 촉진 시키기 위해 포함 되며 진동 격리 기술 은 진공실 내 의 깨끗 하고 안정 된 환경 을 허용 한다. 또한 Fixload V6은 3D 이미지 인식 (recognition) 을 사용하여 로드 및 언로드 프로세스 동안 웨이퍼를 정확하게 정렬하는 독특한 웨이퍼 추적 도구를 제공합니다. 이는 웨이퍼의 정확한 위치와 배치를 보장하며, 전반적인 생산 수율을 증가시킵니다. 브룩스 자동화 픽스로드 V6 (BROOKS AUTOMATION Fixload V6) 에는 웹 기반 모니터링 및 제어 자산, 웨이퍼 매핑 (wafer mapping), 교정 (calibration), 상태 모니터링 도구, 프로세스 모니터링 도구 등 원활한 통합을 위한 툴이 함께 제공됩니다. 이 모델은 프로세스 진단 (process diagnostics) 을 위해 일련의 알고리즘을 사용하여 제조업체에 프로세스 내 잠재적 문제에 대한 더 나은 아이디어를 제공합니다. 전반적으로 Fixload V6는 반도체 제조 산업 기업에 이상적인 도구입니다. 고급 웨이퍼 (Wafer) 전송 기능과 최적 처리 및 생산 수익률을 위한 고급 툴/기능 제품군을 제공합니다. 생산의 효율성을 높이고 전체 비용을 절감하고자 하는 모든 제조업체 (Manufacturer) 또는 프로세서 (Processor) 를 위한 완벽한 솔루션입니다.
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