판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Fixload V6 #9056693

BROOKS AUTOMATION Fixload V6은 BROOKS AUTOMATION에서 개발 한 차세대 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 이 핸들러는 입자 생성을 줄이고, 고급 웨이퍼 처리를 위한 처리량을 최대화할 수 있도록 설계되었습니다. 픽스로드 V6 (Fixload V6) 은 프로세싱 챔버 및 기타 구성 요소로 웨이퍼를 전송 및 로드하는 데 사용됩니다. BROOKS AUTOMATION Fixload V6은 셔틀 장비, 암, 안전 시스템 및 드라이브 메커니즘의 4 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 셔틀 장치 (shuttle unit) 는 웨이퍼 (wafer) 를 적절한 방향으로 배치한 다음 적절한 공구에 삽입하여 적재하는 데 사용됩니다. 팔 은 "웨이퍼 '를 굳게 잡고 정확 한 형태 로 움직 이는 데 사용 된다. 안전 기계는 모든 웨이퍼 처리가 안전하게 수행되도록 설계되었습니다. 마지막으로, 구동 메커니즘은 팔과 셔틀의 움직임에 전원을 공급하는 데 사용됩니다. Fixload V6은 수동 및 자동 웨이퍼 로드 및 언로드가 모두 가능합니다. 수동 모드일 때, 사용자는 정확한 웨이퍼 처리를 위해 암의 동작을 제어할 수 있습니다. 자동 모드에서 사용자는 로드할 웨이퍼 수 (number of wafer), 웨이퍼 이동 속도 (speed of wafer movement), 웨이퍼 크기 (size of the wafer) 와 같은 특정 매개변수를 설정할 수 있습니다. 따라서 여러 개의 웨이퍼를 여러 개의 챔버 (chamber) 나 다른 컴포넌트에 빠르고 정확하게 로드할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION Fixload V6도 매우 안정적이고 견고하도록 설계되었습니다. 고유 한 원심 힘 유형 드라이브를 사용하여 컴포넌트 마모를 줄이고 작동 수명을 연장합니다. 또한 Fixload V6은 저온 (최대 310 ° C) 에서 작동하여 총 입자 생성을 최소화합니다. BROOKS AUTOMATION Fixload V6은 웨이퍼 처리를 위한 탁월한 선택으로, 안정성, 견고성 및 낮은 입자 생성을 제공합니다. 즉, 최대 수준의 처리량과 정밀 이동을 가능하게 하여, 웨이퍼를 빠르고 정확하게 처리할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 저온 작동은 수명 연장 및 입자 생성에 기여합니다.