판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Fixload V6 #293634036

BROOKS AUTOMATION Fixload V6은 배치 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 로드 및 언로드를 자동화하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 단일 프로세스에서 웨이퍼를 효율적이고 반자동 (semi-automated) 방식으로 로드하고 언로드할 수 있습니다. 이를 통해 많은 수의 웨이퍼 (wafer) 를 단일 런으로 처리하고 프로세스 시간을 줄일 수 있습니다. Fixload V6은 6 인치 및 8 인치 라운드 웨이퍼를 포함하여 다양한 웨이퍼 크기를 수용 할 수있는 Flexible Pod Equipment를 사용합니다. 융통성 있는 "포드 '" 시스템' 은 "웨이퍼 '처리 장치 와 같은 다른" 시스템' 과 호환 되도록 설계 되었으며, 쉽게 구성 할 수 있으므로 특정 한 "웨이퍼 '크기 를 처리 할 수 있다. 이 장치는 통합 진공 웨이퍼 전송 머신 (Vacuum Wafer Transfer Machine) 을 사용하여 프로세싱 플랫폼으로 웨이퍼를 전송하고, 프로세싱 및 방향 시스템 (Positioning and Orientation Systems) 을 사용하여 프로세싱을 위한 웨이퍼를 정확하게 정렬합니다. 게다가, 공구 (Tool) 를 구성하여 잘못 정렬을 자동으로 감지하고 프로세스를 중단하여 웨이퍼 (Wafer) 와 처리 장비의 손상을 방지할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION Fixload V6 는 모든 Wafer 프로세스를 원활하고 안전하게 작동할 수 있도록 모든 기능을 갖춘 그래픽 인터페이스를 갖춘 고효율 프로세스 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 컨트롤러는 웨이퍼 냉각 (wafer cooling), 베이킹 (baking), 산화 (oxidizing) 와 같은 여러 웨이퍼 처리 작업을 제어하고 프로세스 변수를 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 공정 (process) 을 처리하는 동안 측정된 결과에 따라 공정 매개변수 (process parameter) 를 자동으로 조정하도록 에셋을 구성할 수도 있습니다. 이는 프로세싱 조건을 최적화하고 비최적 (non-optimal) 조건으로 인해 웨이퍼가 손상되지 않도록 하기 위한 것입니다. 픽스로드 V6 (Fixload V6) 는 모델과 웨이퍼를 오염과 다른 환경 요인으로부터 보호하기 위한 안전한 설계를 갖추고 있습니다. 우발적 인 장치 오작동을 방지하기 위해 보안 액세스 장비 (Secure Access Equipment) 와 내장 연동 시스템이 있습니다. 또한, BROOKS AUTOMATION Fixload V6에는 모든 프로세스 이벤트를 모니터링하고 기록하고 오류를 감지하는 추적 시스템이 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 시스템 디버깅 및 트러블슈팅을 쉽게 수행할 수 있습니다. 즉, 모든 문제가 발생할 수 있습니다. Fixload V6는 사용자 친화적이고 안정적인 웨이퍼 핸들러 도구입니다. 반도체 제조 공정의 웨이퍼 (wafer) 프로세싱의 효율성과 생산성을 향상시키기 위해 설계되었습니다.