판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Fixload V6 #293634031

BROOKS AUTOMATION Fixload V6은 진공/로드 록 시스템의 일부로 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 진공 시스템 (vacuum systems) 에서 웨이퍼를 적재 및 언로드하는 안전하고, 안전하며, 효율적인 수단을 제공하도록 설계된 범용 웨이퍼 처리 시스템입니다. 완전 자동화 된 웨이퍼 핸들러는 내구성, 로우 프로파일, 컴팩트 베이스에 인체 공학적으로 설계된 바디를 갖추고 있습니다. 소프트웨어 제어 V6 는 오늘날의 빠른 속도로 운영되는 반도체 생산 라인의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 기본 제공되는 자동 초점 (Auto-focus) 기능을 통해 운영자는 최적의 초점 거리를 빠르고 정확하게 조정할 수 있으며, 특허받은 No-Touch Wafer Griper는 안전하고 무접촉 웨이퍼 전환을 보장합니다. 고급 하향식 웨이퍼 처리 장치 덕분에 다양한 크기의 웨이퍼 (wafer) 를 대상 로드 잠금 홀더 (load-lock holder) 로 빠르고 정확하게 전송할 수 있습니다. 또한 V6 는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 갖추고 있어 필요에 따라 Wafer 처리를 손쉽게 모니터링하고 설정을 조정할 수 있습니다. 기지 및 "로봇 '본체 의 안전 연동물 을 사용 하여 우발적 인 기계적 인 간섭 을 방지 하는 한편, 통합 안전" 케이지' 는 잠재적 인 위험 으로부터 인력 을 보호 한다. 또한, V6는 최고의 반복 가능성을 제공하도록 설계되었으며, 최대 반복 가능한 2 시그마 위치 정확도는 ± 25äm입니다. V6 는 시스템 신뢰성 향상을 위해 내구성이 뛰어난 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 구성으로 제작되었으며, 향상된 열 관리를 위한 엔클로징 베이스를 갖추고 있습니다. 베이스에는 정확한 웨이퍼 높이 조정을 위한 디플렉션 조정이 장착되어 있습니다. 또한 여러 웨이퍼 로드 (wafer load) 를 관리하며 손쉽게 설치 및 유지 보수할 수 있도록 이동식 웨이퍼 플랫폼 (wafer platform) 을 갖추고 있습니다. 결론적으로, Fixload V6은 진공 시스템에서 웨이퍼를 로드 및 언로드하는 안전하고, 안전하며, 효율적인 수단을 제공하도록 설계된 최고의 웨이퍼 핸들러입니다. 지능적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 빠르고 손쉽게 모니터링하고 조정할 수 있어 뛰어난 반복성과 안정성을 제공합니다. 특허를받은 No-Touch Wafer Gripper 및 편향 조정은 최적의 웨이퍼 처리 및 정확성을 보장합니다.