판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Fixload 6M #9392798

BROOKS AUTOMATION Fixload 6M은 반도체, 평면 패널 및 LED 기판의 생산 운송을 돕기 위해 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 따라서 다양한 크기와 구성에서 불규칙한 형태의 기판을 쉽게 로드, 언로드할 수 있습니다. 첨단 기술은 고정밀도, 반복 가능, 안정적인 기판 처리를 제공하여 생산 처리량을 극대화합니다. 픽스로드 6M (Fixload 6M) 에는 기판과 로드 포트 사이에 정확한 3 차원 정렬을 수행 할 수있는 단일 축 프리앨리너 (single-axis prealigner) 가 장착되어 기판을 지정된 위치로 정확하게 정렬할 수 있습니다. 한 번에 최대 6 개의 기판을 동시에 적재 및 언로드 할 수있는 독립적 인 구동 암이 장착되어 있습니다. 이로써 기판 처리의 지연 시간이 단축되어 생산 처리량 (production throughput) 과 비용 (cost) 이 절감됩니다. BROOKS AUTOMATION Fixload 6M은 최첨단 활성 로드 알고리즘을 사용하여 수작업 개입의 필요성을 줄입니다. 이 알고리즘은 기판과 로드 포트 사이의 스프링 압력, 회전 기울기 (rotational tilt) 및 거리를 동적으로 모니터링합니다. 즉, 운영자가 서로 다른 기판 크기에 맞게 로드 포트를 조정할 필요가 없습니다. 안전하고 정확한 로딩을 위해 Fixload 6M의 활성 로드 알고리즘은 기판의 사후 로드 (post-loading) 동작을 자동으로 조정합니다. 또한, 이 장치에는 특허 진공 포트 (patented vacuum port) 가 장착되어 기판을 고정시켜 기판에 적절한 보류를 보장합니다. 직관적 인 터치스크린 디스플레이 (Touchscreen Display) 를 사용하여 작업을 쉽게 수행할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 프로세스를 사용자 정의하고 각 기판에 대한 매개변수를 지정할 수 있습니다. 또한, 사용자 인터페이스는 국제 사용자를 위해 영어, 중국어, 일본어, 한국어, 스페인어 등 여러 언어로 설계되었습니다. 이 장치에는 밝기, 채도, 기타 설정을 조정할 수 있는 고급 LED 조명 시스템 (6색 설정) 도 포함되어 있습니다. 또한, BROOKS AUTOMATION Fixload 6M에는 생산 처리 중 기계적 장애가 발생하는지 감지 할 수있는 자체 진단 기능이 있습니다. 또한 이 장치는 터치스크린 디스플레이에 있는 상태 표시등 (status indicator lights) 을 통해 시스템 오류 연산자에게 알릴 수 있습니다. Fixload 6M은 반도체 웨이퍼 포맷, 테스트 및 dicing과 같은 다양한 산업 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 기판을 빠르고 효율적으로 처리할 수 있는 안정적이고, 정확하며, 경제적인 솔루션을 제공합니다. 오프라인 (Offline) 및 온라인 (Online) 구성으로 제공되므로 바닥 및 셀 생산에 모두 적합합니다. 또한 다양한 형식과 크기에 대한 강력한 지원을 제공하여 여러 기판 (substrate) 유형에 사용할 수 있습니다.