판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Fixload 6M #9354498
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BROOKS AUTOMATION Fixload 6M은 최신 클린 룸 환경에서 6 인치 웨이퍼를 처리하도록 특별히 설계된 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 고성능 웨이퍼 처리 기능으로 "pick and place" 웨이퍼 전송 작업에 이상적입니다. 한 프로세스 스테이션 (process station) 에서 안전하고 효율적인 다른 프로세스 스테이션으로 웨이퍼를 전송할 수 있습니다. 장비의 "스마트 (Smart)" 로직 컨트롤러는 최고 수준의 웨이퍼 (Wafer) 관리 정확성을 보장하고 가장 복잡한 작업 (Operation) 도 쉽게 관리할 수 있도록 설계되었습니다. 고정밀 드라이브 시스템을 사용하면 웨이퍼를 빠르고, 정확하고, 지속적으로 이동할 수 있습니다. Fixload 6M은 또한 디지털 I/O 및 통신 기능을 제공하여 원격 모니터링과 전력 소비를 줄일 수 있습니다. 이 장치는 수많은 프로세스 환경에 적응할 수 있으므로 거의 모든 wafer stage, tool, cart 또는 fixture와 호환됩니다. 자동 웨이퍼 핸들러는 카세트에 최대 28 개의 웨이퍼 (wafer) 를 저장할 수 있으며, 여러 유형의 웨이퍼 용 여러 웨이퍼 트레이가 있습니다. 견고하면서도 인체 공학적 인 구조는 거의 모든 산업 응용 분야에 사용하기에 적합합니다. SBC 모듈식 (SBC) 설계를 통해 기계의 향후 확장이 가능하므로 필요에 따라 쉽게 구성할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION Fixload 6M 웨이퍼 핸들러는 최적의 성능을 위해 고급 설계 기능을 사용합니다. 조정 가능한 웨이퍼 (wafer) 제거 트레이를 사용하면 용지함 높이를 프로세스 요구에 맞게 최적의 위치로 조정할 수 있으며, 단일 버튼 (single-button) 작업을 통해 빠르고 쉽게 작업할 수 있습니다. 이 도구에는 운영자를 안전하게 보호하기 위해 포괄적인 안전 기능 (Safety Features) 이 장착되어 있습니다. 여기에는 비상 정지, 교대 동작, 양수 잠금 드릴 플레이트, 임의의 각도에서 적절한 시야를 볼 수 있도록 미러 및 렌즈 클리어가 포함됩니다. 결론적으로 Fixload 6M은 고도로 발전된 정확한 웨이퍼 핸들러입니다. 웨이퍼 처리 (wafer handling), 원격 모니터링 (remote monitoring) 및 전력 효율성을 자동화하면 이 자산이 운영 애플리케이션을 위한 실질적인 선택이 됩니다. 인체 공학적 구조, 조정 가능한 웨이퍼 트레이 및 종합적인 안전 기능으로 인해 BROOKS AUTOMATION Fixload 6M은 안정적이고 강력한 웨이퍼 처리 솔루션입니다.
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