판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Fixload 6M #293800213

BROOKS AUTOMATION Fixload 6M은 프로세스 도구 간에 안정적이고 효율적인 웨이퍼 전송을 제공하기 위해 설계된 고급 로봇 기반 단일 웨이퍼 핸들러입니다. 에칭 (etching), 리소그래피 (lithography), 증착 (deposition) 과 같은 다양한 웨이퍼 처리 프로세스 간에 모든 웨이퍼 유형을 처리 및 전송하는 데 이상적인 솔루션입니다. Fixload 6M은 완전히 자동화되었으며 여러 프로세스 도구와 함께 작동합니다. 직경 2 인치 ~ 12 인치 범위의 다양한 기판 크기를 처리 할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION Fixload 6M은 최종 효과가있는 이중 암 로봇 메커니즘을 사용하여 진공 밀폐 된 웨이퍼 픽업 환경에서 웨이퍼를 전송합니다. 또한 우수한 열 및 진동 안정성을 위해 아노디 화 된 알루미늄 프레임 (anodized aluminum frame) 을 갖추고 있으며 충격과 진동 효과를 줄여 정확성과 반복성을 보장합니다. "로봇 '의 주" 모터' 구동 은 "로봇 '이" 로봇' 암 의 움직임 과 회전 을 정확 하게 제어 할 수 있도록 "서보 컨트롤러 '로 구동 된다. Fixload 6M (Fixload 6M) 에는 해상도 제어 비전 장비가 장착되어 있어 객체를 정확하게 찾고 대상으로 할 수 있습니다. 비전 시스템은 mis-load 통계 및 re-target misload를 신속하게 최소화하도록 최적화되었습니다. 또한 웨이퍼 정렬을 통해 오염을 줄일 수 있습니다. 이 장치는 또한 파퍼 (wafer) 표면에서 핀홀, 표면 불완전성 및 입자 오염을 감지하는 자동 분해 점 스캔 및 라인 스캔 기술을 특징으로합니다. BROOKS AUTOMATION Fixload 6M은 품질 관리 기능을 그대로 유지하면서 뛰어난 처리 속도와 정확성을 제공합니다. 자동 청소 기능 및 온보드 전원 관리는 고품질의 깨끗한 웨이퍼를 전송합니다. 종합적인 데이터 추적 (data tracking) 및 보고 시스템 (reporting machine) 은 주요 측정을 기록하여 추적 능력을 보장하여 프로세스 문제 해결에 도움이 됩니다. 또한, Fixload 6M은 clear part tracking 및 gas cylinder 및 particle trap과 같은 소모품에 대한 실시간 경보와 같은 다양한 사용자 친화적 기능을 제공합니다. 사용자는 이 소프트웨어를 사용하여 변경 사항을 신속하게 프로그래밍하고, 레시피를 설정하고, 사용자정의할 수 있는 공장 보고서를 개발할 수 있습니다. 서비스 센터는 수리 및 유지 보수 서비스를 제공하여 BROOKS AUTOMATION Fixload 6M 의 성능을 예상대로 보장합니다. 전반적으로, Fixload 6M 은 낮은 mis-load 통계, 뛰어난 처리량, 품질로 일관된 성능을 제공하도록 최적화된 고급, 안정성, 효율적인 웨이퍼 핸들러입니다. 강력한 기능과 디자인으로 BROOKS AUTOMATION Fixload 6M은 반도체 산업을 위한 최고의 솔루션입니다.