판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Fixload 6M #293665999

ID: 293665999
빈티지: 2005
Load ports 2005 vintage.
BROOKS AUTOMATION Fixload 6M은 직경 300mm까지 대형 웨이퍼를 전송하도록 설계된 자동 웨이퍼 핸들러입니다. Fixload 6M 은 대용량 웨이퍼 용량으로 최대 400 개의 웨이퍼를 수용할 수 있습니다. 웨이퍼 처리 장비는 완전하게 자동화되어, 4 손가락 로봇 팔을 사용하여 웨이퍼를 로드하고 언로드하고, 작동 중에 한 곳에서 다른 곳으로 이동시킵니다. 로봇 암에는 안전한 웨이퍼 처리 작업을 보장하기 위해 정밀 센서 (precision sensor) 와 고급 컴퓨터 제어 알고리즘이 장착되어 있습니다. 또한 다양한 도어 잠금 장치, 안전 트리거, 압력 감지 플로어 벨트 시스템 등 최신 안전 기능이 있습니다. BROOKS AUTOMATION Fixload 6M은 스테인레스 스틸 (stainless) 케이스에 장착되어 있어 웨이퍼를 안전하게 처리할 수 있는 먼지 없는 환경을 제공합니다. 조정 가능한 진동 댐퍼 (Vibration Damper) 와 고급 웨이퍼 정렬 시스템 (Wafer Alignment System) 을 장착하여 정밀 활동을 보장하고 결함 및 뒤틀린 웨이퍼의 위험을 줄입니다. 또한 Fixload 6M은 극심한 온도로 인한 우발적 손상을 방지하는 총 온도 관리 장치를 갖추고 있습니다. 내장 단상 AC 전원 콘센트를 통해 구동되며, 자동화된 클러치 (clutch) 메커니즘을 통해 빠르고 간편한 절차 작업을 수행할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION Fixload 6M에는 터치 스크린 컨트롤러와 고급 프로세스 제어 및 데이터 모니터링을 위한 컴퓨터 제어 인터페이스 (옵션) 가 장착되어 있습니다. 컨트롤러는 운영 및 진단 데이터를 신속하게 액세스할 수 있으며 원격 도구 제어를 위해 브룩스 자동화 (BROOKS AUTOMATION) 머신에 연결할 수 있습니다. 또한 Fixload 6M 에는 이더넷 포트 (Ethernet Port) 가 있어 빠르고 쉽게 설치하고 다른 시스템에 연결할 수 있습니다. 전반적으로 BROOKS AUTOMATION Fixload 6M은 안정적이고 효율적인 웨이퍼 핸들러로, 정확하고 정확한 웨이퍼 처리 작업을 제공할 수 있습니다. 완전 자동화 자산은 최대 300mm 크기의 광범위한 웨이퍼를 운송 할 수 있습니다. 견고한 설계, 고급 안전 기능, 고급 프로세스 제어 기능을 갖춘 Fixload 6M (Fixload 6M) 은 자동 웨이퍼 처리 작업에 이상적인 솔루션입니다.
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