판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Fixload 6M #293665482

ID: 293665482
빈티지: 2006
Load ports P/N: 013096-081-20 2006 vintage.
BROOKS AUTOMATION Fixload 6M은 반도체 공장의 효율성과 정확성을 높이기 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 다양한 wafer 처리 (wafer handling) 작업을 관리하는 데 이상적인 기능을 제공합니다. 6M에는 사이클당 최대 40 개의 웨이퍼를 적재 할 수있는 고속 자동 로더가 장착되어 있습니다. 또한 4-way 상하 로드 포트를 갖추고 있으므로 Wafer Loading 및 Unloading 을 빠르고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 게다가 이 장비에는 "웨이퍼 에미터 (Wafer Emitter) '가 장착돼 있다. 공군제도가 작동해 웨이퍼 취급이 정확하고 정확하다. 또한 6M에는 인터페이스 기능이 제공되어 EtherNet, USB, RS232와 같은 대부분의 산업 자동화 네트워크에 연결할 수 있습니다. 즉, 기존 시스템과의 호환성을 보장하며, 작업을 원격으로 제어할 수 있습니다. 하드웨어 측면에서 6M은 강력한 모션 유닛 (motion unit) 으로 제작되었으며, 최고 200mm/s의 고속, 최대 10G의 가속 속도를 제공합니다. "머신 '은 또한 충격 과 진동 에 잘 견디도록 설계 되어 있어서, 생산 층 의 엄격 함 을 견딜 수 있다. 또한 6M에는 터치 패널 HMI (Human Machine Interface) 가 있어 운영자가 도구를 쉽게 제어할 수 있습니다. 사용자는 wafer 패턴을 보고, wafer-handling 전략을 제어하며, 현재 운영 상태 정보를 볼 수 있습니다. 게다가, 경보 자산 (alarm asset) 이 통합되어 있어 운영자가 장애 또는 오류를 신속하게 감지하고, 문제가 발생할 경우 적시에 경고를 받을 수 있습니다. 따라서 문제를 신속하게 감지하고 해결하여, 웨이퍼 (Wafer) 손상 또는 고가의 다운타임을 방지할 수 있습니다. 또한 6M은 쉽게 설치하고 유지 관리할 수 있습니다. 공구 일치 (Tool Matching) 를 위해 설계되어 신속한 시운전 시간을 허용합니다. 또한 장애 로그 및 기타 데이터를 표시하기 위한 직관적인 GUI (graphic user interface) 가 있습니다. 마지막으로, 모듈식 설계를 통해 필요에 따라 쉽게 업그레이드 또는 액세서리를 추가할 수 있습니다. 전체적으로, Fixload 6M은 안정적이고, 유연하며, 강력한 웨이퍼 핸들러로, 반도체 웨이퍼의 효율적이고 정확한 처리에 적합합니다.
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