판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Fixload 6M #293635521

BROOKS AUTOMATION Fixload 6M은 반도체 제조에서 대용량 웨이퍼를 처리하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 다용도, 단일 카세트, 다중 in-vial 웨이퍼 핸들러는 원활하고 효율적인 처리량을 위해 최소한의 로드 잠금 (load-lock) 및 로봇 전환을 제공하도록 특별히 설계되었습니다. Fixload 6M은 고속 듀얼 축 로봇, 정밀한 마이크로 밸브 포지셔너 및 최적화된 이중 엔드 비얼 그리퍼를 통합합니다. "로봇 '과" 그리퍼' 는 모두 "로봇 '위치 시간 을 최소화 하고 다른 공정 에 대한" 로봇' 의 가용성 을 최대화 하기 위하여 폭 넓은 회전 을 하는 원형 궤적 을 가지고 있다. 이 "로봇 '은 웨이퍼 카세트 (wafer cassettes) 에서 무균성 작동 및 작은 발 인쇄가 가능한 잠금 장치, 인바이얼 (in-vial) 또는 기타 처리 단계로 웨이퍼를 이동하도록 설계되었습니다. 마이크로 밸브 포지셔너 (micro-valve positioners) 는 로봇과 독립적으로 작동하여 워크로드를 줄이기 위해 유연한 노즐을 목표에 정확하게 유지합니다. 이 통합 시스템은 최소한의 처리 오류로 처리량을 높입니다. 이 기계는 다양한 프로세스 장비 (process equips) 와 호환되는 모든 인터페이스 옵션을 자랑합니다. BROOKS AUTOMATION Fixload 6M (브룩스 오토메이션 픽스로드 6M) 은 기존 장비들과 통합할 수 있으며, BROOKS AUTOMATION 전체 고급 기술 제품군과도 통합할 수 있습니다. 또한 사용이 간편한 모션 플랜 (motion planning) 소프트웨어는 최소한의 인적 개입으로 자동화, 유지 관리 및 모니터링이 모두 이루어집니다. Fixload 6M의 통합 설계로 더욱 빠르고 일관된 웨이퍼 처리가 가능합니다. 최적화된 이중 엔드 바이얼 그리퍼는 오류 없이 다양한 크기와 위치의 여러 웨이퍼를 효율적으로 전송하는 반면, 로봇과 마이크로 밸브 포지셔너 (micro-valve positioner) 의 병렬 이동은 향상된 정확성과 신뢰성을 제공합니다. 최소한의 로드 잠금 (load-lock) 및 로봇 전환 (robot transitions) 과 함께 사용하면 순조롭고 오류 없는 처리가 가능합니다. BROOKS AUTOMATION Fixload 6M에는 장기적인 안정성을 위해 여러 가지 안전 기능이 장착되어 있습니다. 여러 안전 장치 가 포함 되어 "머신 '운영자 와" 로봇' 을 모두 보호 하여, 손상 과 부상 의 위험 을 감소 시킨다. 또한, 이 시스템에는 진단 기능이 여러 개 내장되어 있어, 신속하고 정확한 문제 해결을 통해 가동 시간을 극대화하고 전반적인 시스템 다운타임을 줄일 수 있습니다. Fixload 6M은 생산 생산량 향상, 비용 절감, 안전 증대 등을 추구하는 반도체 시설에 적합합니다. 고급 설계, 통합 기술, 다양한 인터페이스 옵션을 갖춘 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 높은 수준의 우수성을 추구하는 시설에 이상적인 선택입니다.