판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Fixload 6 #9198292

BROOKS AUTOMATION Fixload 6은 반도체 및 집적 회로 파운드리에 사용되는 초고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 고온 및 고압 청소, 빠른 프로토 타입, 빠른 전자식 화상 등에 사용하도록 설계되었습니다. 고급 자동화 (automation) 와 로봇 공학 (robotics) 은 고급 반도체 기술을 위한 완벽한 선택입니다. Fixload 6에는 스테인레스 스틸 프레임에 장착 된 자체 포함 장치가 있습니다. 이 장치에는 6 축 로봇 암, 3 축 웨이퍼 트랜스포터 및 웨이퍼 승강을위한 웨이퍼 엘리베이터가 포함됩니다. "로봇 '에는 선택적 으로" 웨이퍼' 를 "핸들러 '에 부착 하기 위한" 웨이퍼 마운터' 가 들어 있다. 로봇 암 (robotic arm) 은 내장 컨트롤러로 완전히 프로그래밍 가능하며, 수동 개입없이 웨이퍼를 추적하고 픽업할 수 있습니다. 웨이퍼 엘리베이터는 최대 900mm까지 들어 올릴 수 있습니다. 웨이퍼 트랜스포터는 브러시리스 (brushless) DC 모터에 의해 구동되며 최대 10m/s의 속도로 최대 400kg의 웨이퍼를 운송 할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION Fixload 6의 로봇 공학은 0.00076cm (7.6 미크론) 의 해상도로 픽업, 정렬 및 전송 웨이퍼로 정확하게 프로그래밍 될 수 있습니다. 이 장치에는 웨이퍼를 정확하게 정렬 할 수있는 2 개의 카메라가있는 통합 비전 시스템도 있습니다. 이 장치는 직경이 최대 300mm인 표준 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. Fixload 6은 매우 높은 정확성과 최고의 생산성을 위해 제작되었습니다. 시간당 최대 200 개의 웨이퍼로 처리량이 높습니다. 또한 비상 정거장 및 기타 안전 기능 (예: 경커튼, 홀드 투 런 (hold-to-run) 잠금 장치) 으로 최대 안전을 위해 제작되었습니다. 이 장치는 손쉬운 유지보수 (maintenance) 를 위해 설계되었으며, 일상적인 검사 및 유지 관리를 위해 외부 커버를 쉽게 제거할 수 있습니다. 요약하면, BROOKS AUTOMATION Fixload 6은 반도체 및 집적 회로 파운드리를 위해 설계된 강력하고 다용도 웨이퍼 핸들러입니다. 고급 반도체 기술을 위한 완벽한 선택입니다. 첨단 기술, 로봇 공학, 자동화 기능을 통해 높은 처리량, 초고성능에서 웨이퍼를 픽업, 정렬, 전송할 수 있습니다. 최대한의 안전과 유지 관리를 위해 건설되었습니다.