판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Fixload 6 #293639259

BROOKS AUTOMATION Fixload 6 웨이퍼 핸들러는 반도체 및 광자 칩 제조에 사용되는 웨이퍼를 효율적이고 정확하게 처리 할 수있는 고급 자동화 장비입니다. 이 시스템에는 독특한 로봇 "픽 앤 플레이스 (pick-and-place)" 기능이 포함되어 있어 반복성과 정확도가 높은 웨이퍼의 전송 및 처리가 가능합니다. Fixload 6은 소형 설치 공간으로 설계되어 최소 유지 보수가 필요하며 분당 40 개의 웨이퍼 전송이 가능합니다. 이 장치에는 자체 클리닝 사이클, 인체 공학적 로드/언로드 인터페이스, 직관적 인 프로그래밍 언어가 있습니다. 세라믹 센터 포스트 (ceramic center post) 가 장착되어 있어 캐리어 (carrier) 와 공정 장비 (process equipment) 와 같은 다양한 위치 사이에서 200mm 및 300mm 웨이퍼를 안전하고 쉽게 옮길 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION Fixload 6의 모듈식 설계를 통해 응용 프로그램에 따라 사용자 정의할 수 있습니다. 급지대 (feeder arm) 는 상하 (up-down) 와 상하 (side-to-side) 로 이동하여 웨이퍼 배치를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 또는 챔버 레벨 핸들러 (chamber-level handler) 와 같은 업그레이드 옵션은 배치 및 검색 프로세스의 유연성을 보장합니다. 또한 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 충돌 방지 센서 및 기타 보호 기능으로 구성된 고급 안전 기계를 제공합니다. Fixload 6 은 장치당 최대 2 개의 캐리어를 수용하며, 최대 200 개의 웨이퍼 캐리어를 지원할 수 있어 높은 생산 처리량을 제공합니다. 이렇게 하면 짧은 주기 (cycle time) 와 프로세스 챔버 안팎에서 웨이퍼를 신속하게 자동으로 전송할 수 있습니다. 유연하고 사용하기 쉬운 카메라 도구를 통해 자동화 정확도를 높이고 전반적인 비용을 절감할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION Fixload 6은 제조업체를 위한 안정적이고 비용 효율적인 웨이퍼 처리 솔루션으로 설계되었습니다. 신속· 간편한 전송 (transfer) 기능과 낮은 유지보수 (maintenance) 및 견고한 안전 (safety) 시스템을 통해 다양한 산업 응용프로그램에 적합한 옵션을 제공합니다. 또한 고급 프로그래밍 기능을 통해 사용자는 운영 프로세스에 대한 제어 및 사용자 정의를 강화할 수 있습니다.