판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Fixload 6 #293626364

BROOKS AUTOMATION Fixload 6은 반도체 제조를 위해 설계된 고성능 완전 자동화 웨이퍼 핸들러입니다. Fixload 6은 직경 100mm ~ 300mm 범위의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 주 제어 장치 (Main Control Unit) 와 웨이퍼 배치 및 전송을위한 동력 회전 목마로 구성됩니다. 여기에는 듀얼 잠금 안전 도어 (Dual-Lock Safety Door), 암호 보호, 처리 중인 웨이퍼를 모니터링하고 보호하는 내장 센서가 장착 된 고급 다중 패스 안전 장비가 포함됩니다. 또한 WTM (Wafer Transport Module) 은 WTM (Wafer Transport Module) 으로 설계되어 Wafer를 대상 스테이션으로 안내하고, Intelliflow (TM) 적응, 실시간 제어 기술은 지속적으로 웨이퍼 경로를 조정하고 수정하여 처리량 및 효율성을 극대화하며, 웨이퍼 손상을 방지하기 위해 장치를 언제 중지해야 하는지를 결정합니다. 강력한 BROOKS AUTOMATION Fixload 6은 또한 실시간 레시피 관리, 로그 레벨 정확도 및 웨이퍼의 전체 수명주기를 처음부터 끝까지 추적하는 Wafer Centric Tracking (TM) 을 포함한 완벽한 추적 기능을 제공합니다. 예외 보고 (Exception Reporting) 를 통해 운영자는 문제를 신속하게 파악하고 해결 조치를 권고할 수 있습니다. 이 기계는 FPGA에서 실행되는 고속 컨트롤러와 정확하고 일정한 웨이퍼 배치를 위해 매우 정확하고, 정밀한, 3 축 piezo-actuator로 구동됩니다. Fixload 6 에는 Interlock 스위치, 오작동 감지 및 보고, 비상 중지 논리 등 다양한 안전 및 경보 기능이 포함되어 있습니다. 브룩스 오토메이션 픽스로드 6 (BROOKS AUTOMATION Fixload 6) 은 3 단계 또는 4 단계 웨이퍼 전송과 하이 드라이브, 로우 토크 전송 아버를 사용하여 웨이퍼 처리량을 늘리는 한편, 높은 수준의 정확성과 정확도를 제공합니다. 또한 사용자 친화적인 인터페이스와 높은 수준의 자동화 (automation) 로 인해 빠르고 간편한 설치/유지 보수가 가능합니다. 최종 결과는 가능한 최고의 수율로 고속, 신뢰성, 정확한 웨이퍼 처리입니다.