판매용 중고 BROOKS AUTOMATION FabExpress #293798433

BROOKS AUTOMATION FabExpress 웨이퍼 핸들러는 반도체 산업을 위해 특별히 설계된 자동 전송 모듈입니다. 반도체 제작 과정에서 석판화 도구, CVD 도구, 에처 (etcher), 습식 벤치 (wet bench) 와 같은 처리 장비 사이에서 웨이퍼를 이동하는 데 사용됩니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 시간당 최대 12 웨이퍼의 속도로 직경 200mm까지 웨이퍼를 전송 할 수 있습니다. 압력이나 진공 수준에서 작동하여 웨이퍼 (wafer) 처리에 대한 프로세스 제어를 철저히 유지할 수 있습니다. FabExpress는 고정밀 웨이퍼 다이빙 모듈로, 웨이퍼 처리를 위한 안정적인 성능을 제공하도록 설계되었습니다. dicing 모듈을 사용하면 정확한 웨이퍼 전송이 가능한 정확한 세밀한 조정 작업이 가능합니다. 이 모듈에는 다이빙 프로세스의 정확성을 보장하기 위해 고속 카메라 장비와 내장형 레이저 탐지 시스템 (Laser Detection System) 도 있습니다. "웨이퍼 핸들러 '의 설치 와 작동 을 단순 하게 하는" 프로그램' 가능 "비전 '장치 가 마련 되어 있다. BROOKS AUTOMATION FabExpress 웨이퍼 핸들러는 서보 모터 (servomotor) 와 공압 액추에이터 (pneumatic actuator) 의 조합을 사용하여 처리 장비 사이에 웨이퍼를 빠르고 정확하게 전송합니다. 또한 정확한 모션 제어를 제공하기 위해 PLC (programmable logic controller) 가있는 모션 제어 장치를 포함합니다. 동작 제어 장치 (motion control unit) 를 사용하여 여러 프로세스를 동기화하여 효율적인 작업을 수행할 수 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러에는 정밀 광학 기계 시스템 (optical mechanical system) 이 장착되어 웨이퍼의 정확하고 겹치지 않은 전송을 보장합니다. "와퍼 '를 정밀 하게 조작 할 수 있는 통합 진공실 이 있다. 이 진공실은 정확한 처리 및 반복 성을 위해 통합 된 로봇 암으로 설계되었습니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 시장에서 대부분의 자동 웨이퍼 처리 기계를 능가하는 자동 비전 머신 (Automated Vision Machine) 을 제공합니다. 내부 시력 검사 (in-situ vision inspection) 를 포함하여 다양한 검사 옵션이 있으며, 이 옵션을 통해 운영자는 도구에서 웨이퍼 품질을 제거할 필요 없이 와퍼 품질을 확인할 수 있습니다. FabExpress는 매우 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러로, 뛰어난 처리 정확성과 반복성을 제공합니다. 프로세스 제어 및 신뢰성을 극대화하기 위해 센서, 인터 록 (interlock) 과 같은 고급 안전 기능이 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러는 다운타임을 최소화하면서 연중무휴 24시간 작동하도록 설계되었습니다. 서비스, 유지 보수, 부품 패키지도 함께 제공되므로 운영 중단을 최소화하면서 성능을 최적화할 수 있습니다.